應用原理:
在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
-135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
（提供polycold冷媒及維修）
水汽捕集泵 又稱：POLYCOLD、快速循環水汽深冷泵
應用原理:
在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。
深冷泵的工作原理：將一個能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10-8 Torr、10-5 Pa）。
在實際應用當中，根據所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：
1、水汽捕集器
它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜，影響下次抽真空。
2、低溫冷阱
放在油擴散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態，無需除霜裝置。
根據需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝.
北京天地精儀公司研發生產的-145℃深冷水汽捕集泵，采用單臺壓縮機、自動復疊制冷方式、進口壓縮機及制冷配件、環?；旌闲椭评鋭┥a，替代液氮，節約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便等特點，其性能指標在國內處于地位，達到甚至超過*水平。
主要的性能特點
1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%；
2、降溫迅速，3分鐘內制冷到-120℃，低可到-150℃；
3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;
4、一臺設備可設計兩路負載輸出；
5、進口壓縮機，環保混合型制冷劑;
6、完善的自動化控制；
7、具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫 度顯示；
8、當待機溫度到達后有指示燈提示，可以開始制冷；
9、除霜溫度自由設定；
10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；
11、缺水、水溫過高報警；
12、壓縮機排氣過高、壓力過高保護；
13、電源斷電、缺相報警；
14、可本地、遠程控制自由轉換；
15、R232計算機數據接口，計算機可讀取溫度數據及控制。
