產品特點：
● 采用雙重閉環運動控制，電機在高速運動時具有精確的定位以及運動時的穩定性；
● 采用本公司開發的嵌入式模塊控制電機，提高了電機響應速度，還簡化了儀器與PC機的 接口，PC機與儀器通過USB線和S端子線連接；
產品特點：
● 采用雙重閉環運動控制，電機在高速運動時具有精確的定位以及運動時的穩定性；
● 采用本公司開發的嵌入式模塊控制電機，提高了電機響應速度，還簡化了儀器與PC機的 接口，PC機與儀器通過USB線和S端子線連接；
● 采用花崗石平臺，外觀簡潔大方；
● 表面光由獨立四十八組光源組成，每一組均 為恒 流源驅動，連續可調；
● 配有我公司的全自動測量軟件Mclns，大大提高測量效率。
| 儀器型號 | VMS-3020CNC | VMS-4030CNC | VMS-5030CNC | |||||||
| 工 作 臺 | 金屬臺面尺寸（mm） | 506×356 | 606×466 | 700×450 | ||||||
| 玻璃臺面尺寸（mm） | 350×280 | 450×350 | 550×350 | |||||||
| 運動行程（mm） | 300×200 | 400×300 | 500×300 | |||||||
| 儀器重量（kg） | 140 | 240 | 290 | |||||||
| 外形尺寸（長X寬X高） （mm） | 770×590×1100 | 950×700×1100 | 970×670×940 | |||||||
| 鏡頭 | 日本SONY CCD | |||||||||
| X、Y、Z數顯解析度 | 1μm | |||||||||
| X、Y坐標示值誤差 | ≤（3+L/200）μm | |||||||||
| 電機 |
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| 電源 | AC110V/220V | |||||||||
| 消耗功率 | <100W（不包括電腦） | |||||||||
