重現性 | <0.005mm |
外形尺寸 | (DxH) 700×500×900mm |
解析力標準 | 0.001mm |
| 500×350mm |
| 4+L/150um |
機臺重量 | 150K |
| 4+L/150um |
放大倍數 | 20x~120x |
X行程 | 300mm |
臺面荷重 | 30Kg |
Y行程 | 200mm |
CCD |
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