M3030 氣體質量流量控制器M3030

1. 用途及特點

氣體質量流量控制器( Mass Flow Controller 簡稱MFC )能夠在較大的量程

范圍內對氣體的質量流量進行精密測量和控制。

氣體質量流量計( Mass Flow Meter 簡稱MFM )能夠在較大的量程范圍內

對氣體的質量流量進行精密測量。

它們在石化工業、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、環保和

真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝

設備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應裝置、混氣配氣系統、鍍膜設備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.致力于對產品的性能和生產工藝的不斷改進。對M 系列氣

體質量流量控制器（MFC）和氣體質量流量計（MFM）進行了全新的技術改造，

在功能和性能上有了進一步的提高。

M 系列氣體質量流量控制器和質量流量計具有精度高、響應速度快、重

復性好、穩定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安裝調試，并更好的與計算機連接實現自

動控制。

M3030V 和M3030A 型 氣體質量流量控制器（MFC）性能指標

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

項 目 M3030V型 M3030A

1 流量規格（N2）: 10sccm ～ 30slpm

（本公司可以為客戶在10sccm ～ 30slpm范圍內任何區域標定）

2 準確度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重復精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 響應時間 :≤3sec ( 特別要求：:≤1sec )

5 耐壓 :zui高 95 bar

6 工作環境溫度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 輸入輸出信號: 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 電源 :±15Vdc, 350mA

9 外形尺寸

總長：依進氣口、出氣口接頭規格而定

寬：36mm 高：138mm

氣路接頭形式

可提供5 種尺寸接管外徑的接頭類型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

     范