• 水平方式：自動充氣，自動平衡
• 固有頻率：1～1.5Hz
• 重復定位精度：±0.10mm
• 臺面材料：SUS430高導磁不銹鋼
• 臺面內部結構：隔離杯真蜂窩內芯
• 臺面厚度：100/200/250mm
• 平面度：0.1mm/600mm×600mm
• 臺面粗糙度：≤0.8μm
• 氣浮支架：雙層氣室，3個真空管水平調節閥，四或六支撐腿
• 臺面加支架總高度800mm，總高度可調范圍：-20～+20mm
• 孔間距：25mm（機械打孔）
• 孔徑：M6螺紋孔
| 型號 | 規格（mm） | 臺面厚度（mm） | 載荷（Kg） |
| OP-PAI-0906 | 900×600×800 | 100 | 400 |
| OP-PAI-1208 | 1200×800×800 | 100 | 450 |
| OP-PAI-1510 | 1500×1000×800 | 200 | 550 |
| OP-PAI-1512 | 1500×1200×800 | 200 | 550 |
| OP-PAI-1609 | 1600×900×800 | 200 | 550 |
| OP-PAI-1812 | 1800×1200×800 | 200 | 600 |
| OP-PAI-2012 | 2000×1200×800 | 200 | 650 |
| OP-PAI-2015 | 2000×1500×800 | 200 | 650 |
| OP-PAI-2412 | 2400×1200×800 | 200 | 800 |
| OP-PAI-2418 | 2400×1800×800 | 200 | 800 |
| OP-PAI-2515 | 2500×1500×800 | 200 | 800 |
| OP-PAI-3012 | 3000×1200×800 | 250 | 1000 |
| OP-PAI-3015 | 3000×1500×800 | 250 | 1200 |
| OP-PAI-4015 | 4000×1500×800 | 250 | 1400 |
| OP-PAI-4515 | 4500×1500×800 | 250 | 1400 |
