概述
多晶硅尾氣主要成分的體積分數分別為，HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。雜質.為及氯硅烷、氯硅烷十分活潑，遇水即生成及氧化硅，因此在分析檢測時氣體分析系統對水有嚴格要求。系統對設備材質、密封性能等也有嚴格要求。瑞恒公司采用變壓吸附工藝，一次性去除所有雜質，確保分析效果準確性。預處理單元中利用吸附劑吸附雜質組分的能力遠強于吸附氫氣能力，可以將混合氣體中的氫氣提純。本系統根據我國多晶硅生產線中高塵、高腐蝕的惡劣工況條件，設計的NKYF9500 型干法耐腐蝕取樣分析系統，已達到水平，特別適合我國國情。
我公司開發的實用新型干法耐腐蝕取樣探頭，能成功地承擔這一艱巨的取樣任務。成套分析裝置的關鍵部件（國內同類部件其可靠性、穩定性及使用壽命尚有差距）全部采用（例分析儀傳感器、真空取樣泵、PLC、閥件等），其它能夠保證使用要求的由國內配套生產，此優化配置方案確保了裝置的性能價格比，讓貴方以最少的投入獲得高質量、高性能的在線分析控制成套系 統。ST9500 型干法耐腐蝕取樣分析系統多晶硅尾氣過程氣體成份分析裝置分單點連續分析和多點巡回檢測分析，根據用戶要求進行設計，根據用戶的實際情況，合理設置分析周期間隔時間，既經濟又能滿足生產工藝所需的安全參數。
系統特點
◆免維護型耐腐取樣過濾探頭可在高酸、高粉塵條件下連續工作，不堵塞。
◆常壓耐算取樣管可在高溫條件下，承受過壓、耐酸等惡劣環境連續工作不損壞。
◆系統響應極快，分析準確，滯后小。
◆關鍵件全部采用優選進口件，系統可靠性高
◆采用高溫取樣技術
◆專業防堵技術
取樣監測點
