1 概述
CYX23/25系列注油芯體壓力傳感器是接頭型平膜敏感器件。選用的高穩(wěn)定、高精度硅壓力芯片，采用應(yīng)力優(yōu)化設(shè)計(jì)的燒結(jié)座，通過貼片、金絲鍵合、膜片焊接、高真空注油、壓力循環(huán)去應(yīng)力、高溫老煉、溫度補(bǔ)償?shù)裙に嚿a(chǎn)。三十多年的研制、生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和工藝創(chuàng)新，使產(chǎn)品具備了的穩(wěn)定性和優(yōu)良的性能，得到了用戶廣泛認(rèn)可。
1.1 CYX23/25系列注油芯體壓力傳感器推薦螺紋
推薦標(biāo)準(zhǔn)螺紋接頭為M20×1.5、G1/2。產(chǎn)品應(yīng)用于與316L不銹鋼及丁晴橡膠或氟橡膠相兼容介質(zhì)的壓力檢測(cè)。
1.2 測(cè)負(fù)壓的表壓型 CYX23/25系列注油芯體壓力傳感器型號(hào)后+Y
負(fù)壓型注油芯體壓力傳感器通過負(fù)壓專用工藝生產(chǎn)，可以可靠地完成低于大氣壓力的檢測(cè)，量程在-100kPa～3MPa 之間任意選擇。
2 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 測(cè)量范圍 0kPa～10kPa…10MPa
- 具有表壓G、絕壓A和密封表壓S形式
- 恒流/恒壓供電
- 隔離式結(jié)構(gòu)，適用于多種流體介質(zhì)
- M20×1.5、G1/2螺紋可選
- 全316L不銹鋼材質(zhì)
3 主要用途
- 工業(yè)過程控制 ● 液位測(cè)量 ● 氣體、液體壓力測(cè)量
- 壓力開關(guān)及液壓系統(tǒng) ● 醫(yī)藥食品設(shè)備
4 技術(shù)指標(biāo)
4.1 電氣性能
- 供電電源：≤3.0mA; DC≤10V DC
- 電氣連接： 0.2mm2四色100mm 硅橡膠軟導(dǎo)線
- 共模電壓輸出：電流型輸入的 50%(典型值) ，電壓型輸入的 40%(典型值)
- 輸入阻抗：2.7kΩ～5kΩ
- 輸出阻抗：3.0kΩ～6kΩ
- 響應(yīng)時(shí)間(10%～90%)：＜1ms
- 絕緣電阻：500MΩ/100V DC
- 允許過壓：1.5 倍滿量程
4.2 結(jié)構(gòu)性能
- 膜片材質(zhì)：不銹鋼 316L
- 殼體材質(zhì)：不銹鋼 316L
- 引壓管材質(zhì)：不銹鋼 316L
- 管腳引線：鍍金柯伐
- 密封圈：丁晴橡膠、氟橡膠（可選）
- 凈重量：約 50g（CYX23）、70g（CYX25）
4.3 環(huán)境條件
- 振動(dòng)：在 10gRMS，（20～2000）Hz 條件下無變化
- 恒定加速度：100g，11ms
- 介質(zhì)兼容性：316L和丁晴橡膠（可選氟橡膠）的液體或氣體
4.4 基準(zhǔn)條件
- 介質(zhì)溫度：（25±3）℃
- 環(huán)境溫度：（25±3）℃
- 濕度：（50%±10%）RH
- 環(huán)境壓力：（86～106）kPa
- 電源：（1.5±0.0015）mA DC
4.5 標(biāo)準(zhǔn)量程靈敏度輸出及可選壓力形式
| 量程 | 滿量程 輸出(mV) | 典型值 | 壓力 形式 |
| 量程 | 滿量程 輸出(mV) | 典型值 | 壓力形式 |
| 0～10kPa | 35～60 | 45 | G | 0～600kPa | 90～120 | 100 | G/A | |
| 0～20kPa | 70～110 | 90 | G | 0～1.0MPa | 80～120 | 100 | G/A | |
| 0～35kPa | 55～80 | 70 | G/A | 0～1.6MPa | 125～185 | 150 | G/A | |
| 0～70kPa | 55～80 | 60 | G/A | 0～2.0MPa | 50～70 | 60 | G/A | |
| 0～100kPa | 60～85 | 75 | G/A | 0～3.5MPa | 100～120 | 110 | G/S/A | |
| 0～200kPa | 65～85 | 75 | G/A | 0～7.0MPa | 120～150 | 135 | S/A | |
| 0～400kPa | 60～80 | 70 | G/A | 0～10MPa | 180～230 | 200 | S/A |
4.6 基本參數(shù)
| 參 數(shù) | 典型值 | 值 | 單 位 |
| 零位輸出 | ±1 | ±2 | mV |
| 非 線 性 | 0.2 | 0.5 | %FS |
| 遲 滯 | 0.05 | 0.08 | %FS |
| 重 復(fù) 性 | 0.05 | 0.08 | %FS |
| 輸入/輸出阻抗 | 2.6 | 5.0 | kΩ |
| 零點(diǎn)溫漂 注1 | ±0.4 | ±1.0 | %FS,@25℃ |
| 靈敏度溫漂 注2 | ±0.4 | ±1.0 | %FS, @25℃ |
| 長期穩(wěn)定性 | 0.2 | 0.3 | %FS/年 |
| 激勵(lì)電流 | 1.5（輸入電壓可10V） | mA | |
| 絕緣電阻 | 500（100VDC） | MΩ | |
| 補(bǔ)償溫度 注3 | 0～50;-10℃～70℃ | ℃ | |
| 工作溫度 | -40～+125 | ℃ | |
| 存儲(chǔ)溫度 | -40～+125 | ℃ | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1 | ms | |
| 外殼和膜片材料 | 316L不銹鋼 |
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| ED密封圈 | 氟橡膠、丁腈橡膠 |
| |
| 測(cè)量介質(zhì) | 與316L、丁腈橡膠或氟橡膠兼容的流體 |
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| 壽命（25℃） | ＞1×108壓力循環(huán)（80%FS） | 次 | |
| 填充介質(zhì) | 硅油 |
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| ED密封圈 | 18.5×23.9×1.5mm（丁晴或氟化橡膠注4） |
| |
| 注1、注2：0～10kPa零點(diǎn)溫漂、靈敏度溫漂典型值0.5%FS@25℃，值1.2%FS@25℃。 注3、200kPa及以下量程，補(bǔ)償溫度0～50℃；大于200kPa，補(bǔ)償溫度-10℃～70℃。 注4：氟橡膠密封圈耐溫度范圍是-20℃～200℃，低溫性能較差，當(dāng)溫度范圍低于-20℃， 請(qǐng)驗(yàn)證使用。 | |||
5 選型結(jié)構(gòu)
5.1 芯體選型型號(hào)及外形圖
| 系 列 | 量 程 | 型 號(hào) | 外 形 圖 |
| CYX23/P |
-100kPa～10MPa
| CYX2301 |
|
| CYX2301P |  | ||
| CYX25/P | -100kPa～10MPa |
CYX2501
|  |
| CYX2501P |  |
5.2 選型指南
*工藝標(biāo)識(shí)：f表示通用工藝，Y表示負(fù)壓工藝。
6 原理圖及接線方式
IN+(紅線)-供電正 IN-(黑線)-供電負(fù) S+(黃線)-輸出正 S-(藍(lán)線)-輸出負(fù)
7 應(yīng)用提示
- 壓力芯體的密封方式推薦六方ED密封圈結(jié)構(gòu)。螺紋安裝時(shí)避免力矩過大影響壓力芯體的穩(wěn)定性。建議扭矩按壓力量程不大于下列值：0～500kPa，0.9Nm；500kPa～2MPa，1.1Nm；2MPa～10MPa，1.6Nm。
- 注意保護(hù)壓力芯體前膜片和后端的補(bǔ)償電路板，以免碰傷影響壓力芯體的性能或造成芯體損壞。
- 禁用手或堅(jiān)硬物按壓金屬膜片，避免因芯片變形或穿孔而導(dǎo)致芯體損壞。
- G型芯體后部通氣管要保持與大氣相通；禁止水、水汽或腐蝕性介質(zhì)進(jìn)入芯體后部的參考腔。
- 避免跌落摔碰等，會(huì)影響產(chǎn)品穩(wěn)定性。
- 管腳引線若有變化，以芯體實(shí)物攜帶標(biāo)簽為準(zhǔn)。
