產品型號 CS200-A型 產品類型 高精度型,快響應型,數字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾 流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm 產品精度 ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) 重復精度 ±0.2% FS 線性 ±0.5% F.S. 響應時間 ≤1sec 工作溫度范圍 (5~45)°C 耐壓 3MPa 密封材料 氟橡膠Viton 輸入輸出信號 (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus 電源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC 閥類型 常開(流量量程≤30slm)或常閉 溫度系數 Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ 零點飄移指標 ＜0.6%F.S. per year without autozero 電氣連接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male 工作壓差范圍 (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.） 漏率 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） 標準接頭形式 雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套1/8”(滿量程≤5slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產品),雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4” 表面化學成分 - 無 - 表面粗糙度 25μinch 抗電磁干擾 CE 重量 1Kg
