563 B-A 型規(guī)管
安捷倫 563 B-A 型熱陰極電離規(guī)管采用加熱燈絲作為電子源。該規(guī)管在 2 x 10-10 至 1 x 10-3 torr 的壓力范圍內(nèi)具有的性能。玻璃殼體內(nèi)部使用鉑涂層，可以在較低壓力下為真空規(guī)提供靜電屏蔽，同時又可釋放高壓下可能積聚的靜電。此外，還提供在低于 5 x 10-6 torr 真空下的校準(zhǔn)規(guī)，用于測試真空規(guī)控制器。
特性
- 563 規(guī)管擁有多種接口類型可供選擇。
性能指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo)
| 靈敏度 |
| 10 (Torr)-1 (mbar)-1（通常情況下） |
| 通過 Agilent STARRS 程序可選擇精確測量。 |
| 請聯(lián)系安捷倫獲取詳細(xì)信息 |
| 工作值 |
| • 0 VDC（收集級） |
| • + 180 VDC 接地（柵極） |
| • + 30 VDC 接地 |
| • 5 VAC 額定電壓（燈絲） |
| X 射線極限值 |
| 2 x 10-10 Torr, (2.6 x 10-10 mbar) |
| 工作壓力 |
| 2 x 10-10 Torr 到 1 x 10-3 Torr? |
| （2.7 x 10-10 mbar 到 1 x 10-3 mbar） |
外形圖
