半導體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓FPD檢查顯微鏡
• 大型載物臺搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查
• 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
• 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應用要求
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| HRM300L透反射半導體檢測顯微鏡 |
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| HRM300L-M反射光半導體檢測顯微鏡 |
HRM300L/HRM300L-M詳細規格:
| 光學系統 | 無限遠校正光學系統 | ||
| 顯微鏡鏡體 | 照明裝置 | 反射/透射光∶內置12V、100W光源，備有光量預設開關、電壓LED指示燈、反射/透射光轉換開關(HRM300L)。 反射光∶內置12V、100W光源，備有光量預設開關、電壓LED指示燈(HRM300L-M) | |
| 調焦 | 行程范圍：29.5毫米粗調：17.7毫米/轉，微調：0.1毫米/轉（1 um刻度），可設粗調上限停止位置，粗調旋鈕張力可調 | ||
| 標本高度 | 29.5mm | ||
| 反射光照明裝置 | 明視場等觀察法 | 100W鹵素燈(可安裝高亮度光源、光纖照明裝置)。可用于明視野法微分干涉襯比法/簡易偏振光法，配備視場光闌和孔徑光闌(可調中)以及明視野法聯動的中性密度濾色鏡。 | |
| 暗視野觀察法 | 暗視野法 | ||
| 透射光照明裝置 | 100W鹵素燈，配備阿貝/長工作距離聚光鏡， 內置透射光濾色鏡(LBD、ND25、ND6)(BX51) | ||
| 觀察鏡筒 | 超過寬視野F.N.25 | 正象∶三目鏡筒HM-WETR：正象型（FN 25），傾斜角為20° | |
| 換鏡轉盤 | 明視野法用 | 五孔帶DIC插孔轉盤 | |
| 明/暗視野法用 | 五孔帶DIC插孔轉盤 | ||
| 載物臺 | 1.HRM300L透反射半導體顯微鏡配置載物臺為日本奧林巴斯載物臺（原MX61L用）： MX-SIC1412R2 14英寸×12英寸 行程：356×305mm （透射光照明面積：356×284mm） 2.HMR300L-M反射光半導體顯微鏡配置載物臺為德國載物臺：EK300：; 尺寸572（W）X 400（D）mm; 行程:305(X)X305(Y)mm; | ||
