測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體,集成電路的檢驗和精確測量.配備有冷光源光纖反射照明,成象和觀察系統(tǒng),偏光裝置.
Measurement microscope is widely used for crystal, integrated circuit(IC) examination and exact measurement.It is supplied with Cold light fiber reflected illuminator , imaging and viewing system, polarized imaging system.
規(guī)格 Specifications
光學(xué)成象系統(tǒng) Optical Imaging System
-----無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm
Infinitive Optical systam, Tube Lens Focal Length 200mm
-----鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜, 瞳距55-75mm
Compensation Free Trinocular Tube, Inclined at 30°, Interpupillary Distance 55-75mm
-----高眼點,大視場目鏡WF10X/22
High Point and Wide Field Eyepiece WF10/22
-----長工作距離,平場復(fù)消色差物鏡2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
Long Working Distance, Plan Apo Objectives 2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
------五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
Quintuple Nosepiece
調(diào)焦系統(tǒng) Focus Adjustment System
-----同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動格值0.002mm
Coaxial Coarse & Fin Focus Adjustment System, Fine Division 0.002mm
載物臺 Stage
------ 6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm
6″x8″Double Layers Mechanical Stage, Move Range 153x204mm.
三維測量系統(tǒng) Three-dimensional Measurement System
-------分辨率: 1μm
Resolution: 1μm
-------測量精度: ±(2+L/200)μm
Measurement Exactitude: ±(2+L/200)μm
------重復(fù)定位精度: 2μm
Repeatedly Orientation Exactitude: 2μm
照明系統(tǒng) Illumination System
-------冷光源光纖反射照明器:150W
Dold Light Fiber Reflected Illnminator: 150W
完善和全面的測量軟件
-------完整的幾何量測(如:點,線,圓,弧,角度等)
Complete Geometric Measurement(Point,Line,Circle, Arc etc.)
--------坐標(biāo)系的設(shè)定,擺正,旋轉(zhuǎn)
Enactment, Adjustment of Reference Frame
--------顯示方式多樣化;語言的轉(zhuǎn)換,公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換
Diversity of Display: Conversion of Language, Measure and Angle
軟件介紹
完整的幾何量測（如：點、線、園、弧、角度等）。
坐標(biāo)系的設(shè)定，擺正、旋轉(zhuǎn)。
逆向工程功能以及與Auto CAD的同步操作使用以及與CAM的連接。
測量精準(zhǔn)度的校正和補(bǔ)償。
針對重復(fù)工件的量測有記憶、學(xué)習(xí)、自動編程的功能；快速準(zhǔn)確的現(xiàn)場實時測量。
顯示方式多樣化：語言的切換（中文簡體和繁體；英文等）；公英制單位的切換
（mm/inch）；角度的轉(zhuǎn)換（度、度／分／妙）；顯示數(shù)字的小數(shù)點可自設(shè)；各種線的顏色可自設(shè)
標(biāo)注隨意化：可依據(jù)不同的語言、顏色、格式在圖形的任何位置進(jìn)行標(biāo)注。
個性化的編輯：有復(fù)制、粘貼、刪除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。
運行桌面上的軟件的快捷方式，進(jìn)入軟件界面，如下圖：
A．菜單欄
B．常用快捷鍵
C．影像測量區(qū)
D．自動測量編程區(qū) 注意：僅適用于自動系列
E．影像工具和繪圖工具面板
F．狀態(tài)顯示區(qū)
G．運動控制區(qū) 注意：僅適用于自動系列
H．制式工具面板
I．光柵數(shù)據(jù)區(qū)
J．圖元數(shù)據(jù)區(qū)
K．全覽圖工具面板
L．全覽圖
手動／電動平臺 可選標(biāo)準(zhǔn)行程：
6"×8"（153×204mm）
分辨率：1μm
測量精度：±（2＋L200）μm
重復(fù)定位精度：2μm
被測物容許重量： 13Kg
光柵線位移傳感器 分辨率：1μm
輸出幅值：5V，相對角差90°的兩路方波信號（TTL）
準(zhǔn)確度（20℃）：±(5＋5L／1000)μm（L：傳感器有效量程）
速度：50m/minute
XYZ CNC全自動三維測量系統(tǒng)
精準(zhǔn)測控―――精密準(zhǔn)確的影像測量CNC自動控制系統(tǒng)
§全面的測量工具例舉
1、 完整的幾何量測（如：點、線、圓、弧、角度等）；
2、 坐標(biāo)系的設(shè)定，擺正、旋轉(zhuǎn)；
3、 逆向工程功能,以及與AUTOCAD的同步操作使用；
傳送到AUTOCAD
4、 測量精準(zhǔn)度的校正和補(bǔ)償；
5、靈活的切換功能，語言的切換（中文簡體和繁體；英文等）；公英制單位的切換（mm/inch）角度的轉(zhuǎn)換（度、度/分/秒）；顯示數(shù)字的小數(shù)點可自設(shè)；各種線的色彩可自設(shè)…
6、靈活的標(biāo)注：可依據(jù)不同的語言、色彩、格式在圖形的任何位置進(jìn)行標(biāo)注；
個性化編輯：有復(fù)制、粘貼、刪除、剪切、延伸、UNDO/REDO等功能。針對重復(fù)工件的量測有記憶、學(xué)習(xí)、自動編程的功能；
§高分辨率影像觀察及儲存功能
電腦直接截取影像測量儀器之影像并放大顯示，還配有再次放大視窗，操作人員可以方便快捷的對工件進(jìn)行準(zhǔn)確的量測,并可同時獲得量測數(shù)據(jù)，并可將影像直接存盤bmp、jpeg...等格式 ,這樣可以通過郵件的傳輸直接與客戶交流。
§精準(zhǔn)的自動尋邊功能
依據(jù)『灰階感應(yīng)設(shè)計』的原理，提供十字線之線條色彩、粗細(xì)、感應(yīng)度、受感應(yīng)區(qū)域之動態(tài)設(shè)定，使自動尋邊更為精確；從而大幅度減少了人為取點所產(chǎn)生的誤差，大大提高了測量之準(zhǔn)確度。
§快速的影像公差比對功能
可根據(jù)規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)自設(shè)尺寸和設(shè)定相關(guān)參數(shù)，制定合格與不合格之區(qū)間，系統(tǒng)則可自動快速的判斷出工件是否合格。
§自動對焦功能
提供影像自動對焦功能，當(dāng)系統(tǒng)啟動后系統(tǒng)會自動尋找最清晰影像。
§精準(zhǔn)的自動取點功能
神經(jīng)算法設(shè)計影像自動判讀功能，解決了人工逐一選點繁瑣，只需框選區(qū)域，軟件將自動取點輸入，直接量測。
◆取點依點、線、圓、弧、方形、不規(guī)則形狀，可選擇適當(dāng)工具鈕。
◆輸入點數(shù)可選擇1～999點，增加準(zhǔn)確度。
◆毛邊去除功能：可去除離散不正常之點邊，避免了應(yīng)為取多點而誤判毛邊的可能。
◆影像增強(qiáng)功能：影像清晰度可依據(jù)灰階設(shè)定調(diào)整至滿意程度。
§各種報表的輸出及同步與CAD的功能
任何量測結(jié)果、圖形、影像、統(tǒng)計分析、SPC數(shù)據(jù)皆可匯出Microsoft Word、Excel，并加注公司抬頭及背景資料。且可與CAD同步，動態(tài)傳輸，無需通過轉(zhuǎn)檔的方式。
§SPC統(tǒng)計功能
1.擁有SPC統(tǒng)計分析功能及開放式數(shù)據(jù)庫，方便品保或其他部門直接獲取數(shù)據(jù)及報表。
2.自動認(rèn)識指定的量測數(shù)據(jù),并計算其值、最小值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、 Ca 、 Cp 、 Cpk …的運算,且可應(yīng)用于生產(chǎn)線實時量測判斷。
3.在量測數(shù)據(jù)輸入時,各式圖表( 如 : X-R、X-S、X-Rm...),立刻同步顯示分析,遇到品質(zhì)出現(xiàn)問題時，系統(tǒng)會自動以顏色或聲音給操作人員以警示，利于檢測人員或線上人員立即掌握品質(zhì)現(xiàn)況。
Z軸：手動Z軸（不帶測量功能）
調(diào)焦范圍：290mm
Z軸帶量測范圍：4"（101mm）
分辨率：1μm
測量精度：10μm
底座尺寸（長）×（寬）×（高）：610×450×65mm
平面度：0.05mm
