小型程控蒸發(fā)鍍膜儀JKZC-DM1700是一款小型臺式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀，可以設(shè)定程序，精確控制溫度200℃～1500℃（或者1200℃～1700℃），樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品特點：
· φ6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品
· 安裝有一個2英寸的樣品臺，且樣品臺可旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻
· 樣品臺與蒸發(fā)源之間的距離可調(diào)
· 氣體流量端口和閥門內(nèi)置可用于腔室凈化和CVD實驗
基本參數(shù)：
· 電源：208V-240V，50/60HZ
· 功率：＜1.5KW
· 最高加熱溫度：≤1500℃
真空腔室：
· 材質(zhì)：高純石英
· 尺寸：外徑φ166*內(nèi)徑φ150*L250mm
· 密封法蘭: 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封
· 一個快速擋板安裝在法蘭上
· 一個不銹鋼網(wǎng)罩住整個石英腔體
· 真空度：<7.5×10-2 Torr （采用雙極旋片真空泵）,<5×10-3 torr （采用渦旋分子泵）
