武漢常規探針臺出售是半導體及微納器件測試的基礎設備，通過機械定位系統將探針與樣品表面精確接觸，實現電學參數（如電流、電壓、電容）的微區測量。其核心價值在于非破壞性、快速表征，廣泛應用于晶圓級測試、器件失效分析、材料電學性能評估等場景。
二、武漢常規探針臺出售技術架構與關鍵模塊
機械定位系統
三維位移平臺：采用交叉滾子導軌+微分頭/步進電機驅動，定位精度通常為1-10μm，滿足微米級器件測試需求。
探針卡組件：支持單探針（點接觸）或多探針（陣列接觸）配置，探針材質包括鎢、鈹銅、金剛石鍍層等，接觸力范圍0.01-10N可調。
光學觀測模塊
體式顯微鏡：放大倍數10X-200X，用于粗定位與探針-樣品接觸狀態觀察。
CCD成像系統：分辨率1-5MP，支持實時圖像傳輸與測量標記，提升操作精度。
電學測試接口
源表（SMU）集成：支持四線法測量，最小電流分辨率10fA，電壓范圍±210V，滿足低功耗器件（如IoT芯片）與高壓器件（如功率MOSFET）測試需求。
信號屏蔽設計：采用金屬屏蔽箱+三同軸電纜，降低50Hz工頻干擾與電磁輻射噪聲，信噪比優于80dB。
選型建議：
研發實驗室：優先選擇支持多環境（真空、變溫）的模塊化探針臺，便于后續功能擴展。
量產測試線：推薦全自動探針臺+MES系統集成，實現測試數據實時上傳與良率統計分析。
高校教學：經濟型手動探針臺+開源測試軟件（如LabVIEW）組合，兼顧成本與教學靈活性。
技術參數
臺體
Chuck尺寸：8英寸 12英寸
快速抽拉：行程-110mm 行程-150mm
水平旋轉：可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y氣浮移動：可360℃氣浮移動，便于快速定位樣品
X-Y移動行程：8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
X-Y移動精度：1um/2um
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環
針座平臺：最多可放置8個探針座或12個探針座
平臺升降：可快速升降6mm/可微調升降25mm
背電極測試：樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極
顯微鏡
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-100X/20X-4000X
移動行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm（Z軸可選氣動升降，快速進行物鏡切換）
光源：外置LED環形光源/同軸光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm
移動精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
DC調節點測角度：0-30℃
RF調節角度：多點控頭調水平旋鈕，可以+-10℃調節，精度0.1度
探針夾具
線纜：同軸線/三軸線/射頻線/開爾文線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
DC針尖直徑：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探針頻率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
材質：鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
外形：900mm*700mm*900mm /950mm長 *700mm寬*700mm高
重量：約150千克/180千克
可選附件（根據客戶要求定制）
加熱臺
顯示器
轉接頭
射頻測試配件
屏蔽箱
防震桌
鍍金卡盤
光電測試配件
