武漢8英寸/12英寸探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)是一種用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)等領(lǐng)域的精密測試儀器，主要用于對半導(dǎo)體晶圓、芯片、材料樣品等進(jìn)行電氣性能測試和分析。
武漢8英寸/12英寸探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)
臺(tái)體
Chuck尺寸：8英寸 12英寸
快速抽拉：行程-110mm 行程-150mm
水平旋轉(zhuǎn)：可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y氣浮移動(dòng)：可360℃氣浮移動(dòng)，便于快速定位樣品
X-Y移動(dòng)行程：8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
X-Y移動(dòng)精度：1um/2um
樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái)：最多可放置8個(gè)探針座或12個(gè)探針座
平臺(tái)升降：可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm
背電極測試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
顯微鏡
顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-100X/20X-4000X
移動(dòng)行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm（Z軸可選氣動(dòng)升降，全面快速進(jìn)行物鏡切換）
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度：10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
DC調(diào)節(jié)點(diǎn)測角度：0-30℃
RF調(diào)節(jié)角度：多點(diǎn)控頭調(diào)水平旋鈕，可以+-10℃調(diào)節(jié)，精度0.1度
探針夾具
線纜：同軸線/三軸線/射頻線/開爾文線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
DC針尖直徑：0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探針頻率：40GHz/50GHz/67GHz/110GHz
材質(zhì)：鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
外形：900mm*700mm*900mm /950mm長 *700mm寬*700mm高
重量：約150千克/180千克
可選附件（根據(jù)客戶要求定制）
加熱臺(tái)
顯示器
轉(zhuǎn)接頭
射頻測試配件
屏蔽箱
防震桌
鍍金卡盤
光電測試配件
