CME-RGA6500小分子在線質譜儀的主要應用方向，半導體工業、真空鍍膜(PVD、CVD)、刻蝕、粒子加速器；CO2還原，程序升溫脫附、化學化工、儲能材料、硝酸根還原、燃料電池尾氣檢測、電-光-熱催化、汽車尾氣分析、電催化合成氨、熱分析、固定床、電解水析氫/析氧、扣電-軟包等電池產氣、光催化水制氫燃料電池研究、發酵微生物呼吸氣體監控、人呼吸監控、環境氣體分析、地質分析、冶金過程、各種催化過程等等。
在線氣體質譜儀與TGA實現聯用，能夠快速地分析熱重測試過程中逸出氣體產物；在線質譜儀可與各種催化劑評價裝置，反應釜，氣相色譜等連用，在線實時檢測過程中的氣體組成及其含量；在線質譜儀可以與化學吸附儀連用，對程序升溫過程中的逸出氣體進行定性和定量分析。
CME-RGA6500優勢特點
1. 進樣管加熱，可達350℃
2. 易操作界面，10英寸彩色觸摸屏，可全面控制儀器運行、采樣分析、顯示譜圖
3. 可烘烤真空室至180℃
4. 可定制版本，如特殊進氣系統、特殊外殼
5. 質量范圍標配1-200amu；可選1-100amu、、1-300amu
6. 軟電離選項(1-100eV)
7. 耗氣量低(1-2sccm)
8. 響應快(駐留時間最短1ms/amu)
CME-RGA 6500典型應用
組分分析
通過質量數判斷進樣氣體組分，得到真空系統中的工業氣體的成分和相對濃度信息，分析真空系統的密封性、脫附行為等，便于用戶判斷真空室及真空組件的狀態，如下圖中質譜圖所示
過程檢測/檢漏
在設置的質量數范圍進行全掃描或選擇掃描，長時間對某幾類氣體進行監控(含報警功能)以觀察真空腔體內氣體組分濃度隨時間的變化，如下圖中時間趨勢圖所示
CME-RGA6500技術參數
1. 運行環境
1.1. 環境溫度：15-35℃；
1.2. 相對濕度：≤85%；
1.3. 適用電源：220V(±10%),50Hz(±2%)；
2. 小分子質譜儀參數
2.1. 主要性能指標
2.1.1. ★質量范圍：1-200 amu；
2.1.2. 進樣管：石英毛細管/不銹鋼毛細管；
2.1.3. ★毛細管溫度：≥350℃；
2.1.4. 腔體加熱溫度：≥200℃；
2.1.5. 進樣管入口壓力：0.5-2.5atm；
2.1.6. 進樣管長度：1m/2m；
2.1.7. 靈敏度：2.5E-4A/Pa；
2.1.8. 最小可檢測分壓：1.25E-10Pa
2.1.9. 質量準確性：±0.10 amu；
2.1.10. ▲儀器最小檢測限：≤100ppb；
2.1.11. 檢測范圍：100ppb-99%；
2.1.12. ▲駐留時間：1ms – 16s/amu；
2.1.13. ▲分辨率@10%峰值高度：0.5-2amu可調；
2.1.14. 掃描方式：全掃描、選擇離子監測；
2.1.15. 整機尺寸（長×寬×高）：655×358×318 mm；
2.1.16. ▲重量：29.3kg；
2.1.17. 接口：以太網LAN×1、USB×1；
2.2. 離子源
2.2.1. 離子源類型：開放式離子源；
2.2.2. 離子源配置：雙燈絲軟件切換；
2.2.3. 燈絲電流：1000μA；
2.2.4. 離子化能量：1-100eV；
2.2.5. 燈籠電壓：1-140V；
2.3. 質量分析器
2.3.1. ★質量分析器：配備預四極的高精度全金屬雙曲面四極桿；
2.3.2. 四極桿尺寸：98.5*24.6*6 mm；
2.4. 檢測器
2.4.1. 法拉第杯和電子倍增器，對低濃度物質使用法拉第杯檢測器，高濃度使用電子倍增器測定；
2.5. 真空系統
2.5.1. 前級泵：無油隔膜泵，抽速≥0.6 m3/h；
2.5.2. ▲配置高性能渦輪分子泵，抽速≥67L/s；
3. 軟件工作站
3.1. ★質譜儀全中文一體化控制軟件工作站；
3.2. 實時監控：可設置監測離子物質，設置監測強度閾值，超過一定分壓即實時查看到超標物質并打開蜂鳴器；
3.3. 對質譜圖中不同質量數進行元素定性功能；
3.4. 化合物定量MCD采集功能：通過加載已知組分含量的標準氣體，再新的樣品后可以得到對應化合物濃度。
4. 售后服務
4.1. 安裝、校準與試運行:儀器制造廠技術員在買方用戶現場免費安裝調試，技術指標合格。
4.2. 培訓:提供技術服務，現場培訓內容（包括儀器基本原理、操作使用及日常保養維修等），培訓工作直至技術人員能獨立操作為止。
4.3. 質保與維修:儀器廠商提供1年的免費保修服務。
技術資料:提供儀器設備的安裝、操作手冊、維修保養手冊等技術文件，及產品合格證、質量保證書和產品軟件等全套資料。
