X熒光光譜儀根據(jù)其分光原理不同分成波長(zhǎng)色散型X熒光光譜儀（波譜儀，WDXRF）和能量色散型X熒光光譜儀（能譜儀，EDXRF）。我們通常所說(shuō)的X熒光光譜儀就是指波長(zhǎng)色散的儀器。
X熒光光譜儀是一種較新型的可以對(duì)多元素進(jìn)行同時(shí)測(cè)定的儀器，在X射線激發(fā)下，被測(cè)元素原子的內(nèi)層電子發(fā)生能級(jí)躍遷而發(fā)出次級(jí)X射線（即X熒光），波長(zhǎng)和能量是從不同的角度來(lái)觀察描述X射線所采用的兩個(gè)物理量。
X熒光光譜儀是一種的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法，X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)X射線，這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，特別是在金屬，玻璃，陶瓷和建材的調(diào)查和研究，地球化學(xué)，法，考古學(xué)和藝術(shù)品，例如油畫(huà)和壁畫(huà)。
X熒光光譜儀在無(wú)損檢測(cè)方面，具有其他剖析技能無(wú)法比較的長(zhǎng)處，應(yīng)用X射線光譜儀掃描辦法探測(cè)土壤表層下面的是元素是X射線無(wú)損檢側(cè)技能的一個(gè)主要使用范疇，X熒光光譜儀根據(jù)有手持和臺(tái)式兩種，所采用的都是X熒光光譜儀的原理，X熒光光譜儀由激發(fā)源和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成，根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度，也可以獲得各元素的含量信息。
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