光纖式藥液濃度計 CS-100F1
HORIBA藥液濃度計光纖式藥液濃度計 CS-100F1系列是針對在半導體制造中的清洗及蝕刻工藝中所使用的各種藥液進行高精度濃度監測的設備。
光纖式藥液濃度計 CS-100F1通過利用光纖傳播光信號，把樣品單元直接組裝到清洗裝置配管上，實現實時在線測量。 同時，1臺單一的濃度計zui多可以測量4種藥液或量程，在單槽/單晶圓清洗系統中進行單線監測成為了可能。此外，測量單元型產品適用于更高精度需求應用的濃度反饋控制。
●利用1臺濃度計zui大可以監測4種(藥液或量程)的多樣監測。
●實時濃度監測。測量單元型產品適用于更高精度需求應用的濃度反饋控制。
●監測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩定性。
●輕便小巧的設計有利于節省清洗裝置的空間。
●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產量。
光纖式藥液濃度計 CS-100F1主要特點：
●利用1臺濃度計zui大可以監測4種(藥液或量程)的多樣監測。
1臺濃度計中zui多可存儲4種校正系數(藥液或量程)，可監測單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。
●實時濃度監測。測量單元型產品適用于更高精度需求應用的濃度反饋控制。 通過使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測單元，實現了實時的濃度監測。為了強調穩定性，也可使用檢測單元裝置型的濃度計，以進行反饋控制。可以保持在藥液濃度值的允許范圍內，同時也可以避免不必要的藥液更換工作。
