油擴散泵是獲得高真空的主要設備，被廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、原子能、空間模擬試驗和對油污染不敏感的真空系統中。安捷倫公司（原Varian）作為范圍內的擴散泵供應商，為客戶提供口徑從2英寸到35英寸范圍內各種擴散泵，是美國的一個全系列的擴散泵供應商。產品具有大抽速，高排氣量等特點。 適用于真空度在10-1~10-8mbar之間。
特點：
◆ 大抽速、大抽氣量
◆ 抗輻射、抗氧化、快速循環.抗爆炸.
◆ 高前級耐壓
◆ 高極限真空度
◆ 返油量極低
◆ 超常的使用壽命
擴散泵（AX,HS,VHS,NHS型號）參數對照
| 型號 | AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 |
| 抽速空氣(L/s) | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 |
| 推薦前級泵抽速(m3/hr) | 0.15/0.25 | 5.0/8.5 | 10/17 | 17/28.9 | 17/28.9 |
| 標準冷帶 | 2×10-4 | 1×10-3 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 |
| 啟動時間（min） | 7 | 15 | 10 | 10 | 15 |
| 功率 | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 |
| 冷卻水(l/hr,15-26℃) | N/A | 0.1/20 | 0.15/30 | 0.25/50 | 0.25/50 |
| 型號 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-32 | NHS-35 |
| 抽速空氣(L/s) | 3650 | 4500 | 6000 | 17300 | 28000 |
| 推薦前級泵抽速(m3/hr) | 30/51 | 30/51 | 80/136 | 300/510 | 300/510 |
| 標準冷帶 | 5×10-4 | 1×10-3 | 1.5×10-3 | 7×10-4 | 5×10-4 |
| 啟動時間（min） | 15 | 30 | 45 | 60 | |
| 功率 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 24000 | 24000 |
| 冷卻水(l/hr,15-26℃) | 0.4/80 | 0.4/80 | 1.5/300 | 4.0/800 | 4.0/800 |
