WaveMaster® Compact Reflex - 夏克·哈特曼傳感器對單透鏡表面形貌的測量
WaveMaster® Compact Reflex使用其內置反射式夏克·哈特曼傳感器,簡便、靈活地測量樣品的表面輪廓。 | ![]() WaveMaster® Compact Reflef |
主要特點
*使用夏克·哈特曼傳感器快速測量表面輪廓;
*快速,簡單的更改裝置實現在不同測量范圍間的切換;
*高測量速度可以實現高樣品的通量;
*高精度四軸校準樣品架,用于亞微米位置的調整;
*當連續測量樣品時,只需對樣品進行微小的調節即可;
*自動聚焦;
*波前傳感器和望遠鏡在出瞳中自動定位;
*與主透鏡或設計文件的波前數據實時比較;
*具有不同數值的點光源(0.95);
*防振式結構,避免振動影響;
*功能完備的軟件;
應用
WaveMaster® Compact Reflex的應用如下: *檢測球面、非球面、平面元件的表面面型; *測量半徑; | ![]() |
用夏克·哈特曼傳感器測量曲面和半徑
WaveMaster® 軟件結構清晰、易于使用,并包含很多功能,可用WaveMaster®儀器測量和分析樣品。
該軟件與夏克·哈特曼傳感器進行通訊并實時分析測量的鏡片表面。此外,它可以控制WaveMaster®儀器。
該軟件的優點
*菜單驅動的操作指導;
*簡單直觀的表面輪廓測量和分析;
*軟件包:數據收集、數據計算、校準并顯示數據、實時分析;
*通過多重參數化表示表面面型;
*非球面方程;
*Zernike多項式;
*圓錐方程;
*球面方程;
*自由曲面;
*加載參考表面數據并在測量過程中進行實時比較;
有關軟件的更多詳情
*基本功能;
*實時測量和分析波前;
*顯示;
*3D波陣面的2D - fringe和-Phase;
*PV和RMS;
*強度;
*傾斜度;
*相機圖像;
*和相對的測量模式;
*與主鏡頭或設計數據數據實時比較;
*波前和相機圖像平均;
*測量和分析區域的可調;
*可存儲的配置文件;
*證書;
*提供多個分析模塊;
*INSTRUMENT控制;
*自動對焦功能;
*自動尋找出瞳平面;
*自動樣品定位(可選);
*使用預先設定的配置文件;
*REFLEX模塊;
*實時表面形貌分析;
*實時表面貼合;
*與參考數據進行比較;
*將參考數據輸入為系數;
*通過/未通過標準;
*圖形和數字顯示,擬合結果并與設計數據進行比較;
測量配置 | -透鏡的表面面型測量 -鏡片模具和印章表面的測量 |
波長 | 365 nm,635 nm |
樣品架 | -單個底座 -手動定位 |
準確性 | < 0.050 μm(RMS) |
重復性 | < 0.005 μm(RMS) |
動態范圍 | > 200 μm |
非球面(MAX)* | ≤ 7° |
測量頻率 | up to 12Hz |
橫向解決方案 | 138 x 138 |
樣品直徑 | 從0.5 mm 到 17 mm** |
樣本曲率半徑 | 從 - 20 mm 到 30 mm(-50 — -30或者其他)*** |
*局部偏離適合的球體;
**取決于曲率半徑和照明鏡頭;
***取決于照明鏡頭和樣品直徑;升級和配件
波前測量儀的特點是靈活的設計,可以使儀器適應特定的應用需求。借助以下附件和升級,WaveMaster系列的功能得到了擴展。
波前傳感器
當需要更高的動態范圍或精度時,可以更換WaveMaster儀器的波前傳感器,作為升級,所有可用的WaveMaster設備都可以實施到WaveMasterSensor儀器中,可根據要求提供更多的波前傳感器。
照明
具有不同波長和數值孔徑的光源可供選擇,數值孔徑之間的切換由于運動學安裝而被簡化。
望遠鏡
為了更大限度地利用傳感器的動態范圍,從而提供橫向分辨率??梢允褂靡惶淄h鏡。
根據樣品直徑和波前傳感器的尺寸,必須選擇放大倍率。運動支架可以方便的更換望遠鏡。