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設備特點
6個容器共用一套真空抽氣系統，真空機組中每臺泵都能為全部或部分容器工作，體現備份設計理念，每個容器上均有獨立閥門控制，既可獨立工作，也可同時工作。該設備主要用于空間運動部件低氣壓放電試驗、高真空長壽命試驗、具有自動化程度高、操作簡單方便、長期運轉穩定可靠等特點。
技術性能
1. 真空度：極限真空度5×10-5Pa，工作真空度≤1×10-3Pa；
2. 真空室尺寸：φ600×800mm；
3. 工位：6工位，既能同時運行，又可單獨運行；
4. 自動化程度高，可一機多用；
5. 設備已連續運行時間：12年。
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