預處理過濾設備
石英砂過濾器:利用石英砂的多孔性,能有效去除水中的懸浮物、泥沙、鐵銹等顆粒較大的雜質,降低水的濁度,為后續的過濾和處理提供基礎保障,防止大顆粒雜質對后續設備造成堵塞和損壞。
活性炭過濾器:通過活性炭的吸附作用,可以去除水中的有機物、余氯、色度、異味等,提高水的純凈度,減少水中的有機污染物對半導體制造過程的影響,避免其在芯片表面形成缺陷1.
PP 棉過濾器:能初步過濾水中的鐵銹、泥沙、膠體等雜質,對原水進行粗過濾,保護后續的精密過濾設備和反滲透膜等核心部件,延長其使用壽命,確保整個系統的穩定運行.
核心過濾及除鹽設備
反滲透(RO)系統:在壓力驅動下,利用半透膜的原理,使水通過而鹽分、有機物、細菌等雜質被截留,可有效去除水中的大部分溶解鹽類、膠體、微生物等,是制備超純水的關鍵步驟之一,能顯著提高水的純度,為后續的進一步處理提供高質量的進水.
電去離子(EDI)系統:結合了離子交換技術和離子電遷移技術,無需酸堿再生,可連續穩定地產出高純度的超純水,能去除水中的微量離子,使水的電阻率大幅提高,達到半導體生產所需的超純水標準,同時具有操作簡便、環保等優點.
精密過濾設備
精密過濾器:通常采用微孔濾膜或濾芯,可進一步去除水中的微小顆粒、細菌、膠體等雜質,其過濾精度一般在 0.1μm 至 1μm 之間,確保超純水的顆粒物質含量極低,滿足半導
超濾(UF)系統:利用超濾膜的篩分作用,能夠去除水中的大分子有機物、膠體、細菌、病毒等雜質,同時保留對半導體生產無害的小分子物質和離子,在保證水質的前提下,可有效降低運行成本,提高生產效率,常用于超純水制備的預處理或后處理環節.
其他輔助設備
離子交換樹脂床:通過離子交換反應,去除水中的各種離子,進一步提高水的純度,常作為反滲透和 EDI 系統的補充,用于深度除鹽,確保超純水的電阻率和離子含量符合半導體生產的高標準要求.
紫外線殺菌器:利用紫外線的殺菌作用,可有效殺滅水中的細菌、病毒等微生物,防止微生物在超純水中滋生繁殖,影響半導體產品的質量和性能,保障超純水在使用過程中的微生物安全性.
水箱及管道系統:用于儲存和輸送超純水,通常采用高質量的不銹鋼或其他耐腐蝕材料制成,以防止水質受到污染,同時要注意管道的設計和安裝,避免死角和死區的存在,確保超純水的流動順暢和水質穩定。