μPhase®系列干涉儀用于測量高精度要求的光學零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，非接觸式測量可保證在不傷害光學表面的前提下對光學表面及波前進行較精確的評價。μPhase®系列干涉儀得益于該設備緊湊與模塊化的設計理念，使它們得到靈活、高效的使用。μPhase®系列干涉儀的各個組成部件相對獨立，相互兼容，可靈活組合成有針對性應用的強大干涉計量系統。
 μPhase®干涉儀主機 |  μPhase® Vertical |  μPhase |  測量各種零件 |
| 產品特點： |
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| μPhase® Vertical |
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直徑55mm（采用50mm物鏡μLens PLANO 50） |
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| μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down |
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μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm； μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm ； μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半徑（凸面）2mm— 225mm，直徑 55mm ； 球面，曲率半徑（凹面）-3mm—-570mm |
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| μPhase® UNIVERSAL 100 | μPhase® Plano 300 |
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