產品特色
● 多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
● 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
● 耐用。21Q系列高壓氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可以為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 環境監測
● 真空行業及鍍膜 ● 工業爐窯
● 半 導 體 ● 汽車制造
● 光 伏 ● 燃料電池
● 計量校準 ● 過程工藝氣體測量
精度升級
量程為10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6%讀數 或± 0.1%滿量程（取值）
測量和控制范圍 0.1 ~ 99%滿量程
重復性 ± 0.1%滿量程
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀 數/ ℃溫差
± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（）
測量和控制范圍 0.5% ~ 99%滿量程
顯示流量 高達128%滿量程（取決于氣體）
可控流量 102.4%滿量程
顯 示 屏 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度
精 度 ± 2%滿量程 精度升級見上段
重 復 性 ± 2%滿量程
零點漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm
響應時間 優于100 ms
預熱時間 ＜1s
標定工況 25 ℃&1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至100℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ~ 99%
工作壓力 320 psia
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
數字輸入/輸出信號 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）
供電電流 0.250 A
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 303和302不銹鋼、Viton®、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環氧樹脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請需要其它材料，請聯系我們。
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
選項配件
（需另行訂購）
● 過程端口接頭和過濾器
● 電源
● 通訊線纜和轉換線纜
● BB3和BB9多點式集線盒
● Flow Vision軟件
包裝清單
● MCQ系列高壓氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
● NIST可溯源校準證書
● 艾里卡特操作說明書
尺寸壓損
滿量程質量流量控制器 | 滿量程壓損（PSID） 排氣到大氣中 | 機械尺寸1 | 過程連接2 |
10 SCCM ~ 50 SCCM | 1.0 | 4.4''H x 3.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）（內螺紋） |
100 SCCM ~ 500 SCCM | 1.0 | 4.6''H x 3.6''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 內螺紋 |
1 SLPM | 1.5 | ||
2 SLPM | 3.0 | ||
5 SLPM | 2.0 | ||
10 SLPM | 5.5 | ||
20 SLPM | 20.0 | ||
50 SLPM | 9.0 | 5.7''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/4'' NPT 內螺紋 |
100 SLPM | 2.6 | ||
250 SLPM | 4.6 | 6.0''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/2'' NPT 內螺紋 |
500 SLPM | 6.5 | 6.0''H x 7.3''W x 2.3''D | 3/4'' NPT 內螺紋 （A 1-1/4” NPT 內螺紋可選過程連接 可用于2000 slpm 流量計） |
1000 SLPM | 14.0 | ||
1500 SLPM | 17.0 | ||
2000 SLPM | 28.6 | 6.0''H x 8.1''W x 2.9''D | |
3000 SLPM | 16.8 | 6.0''H x 8.9''W x 2.9''D | 1-1/4'' NPT 內螺紋 |
注1、公制數據見圖紙； 2、與Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可根據要求連接VCR和SAE。 3、與M-5 （10-32）外丁腈橡膠O形圈表面密封至1/8''NPT內螺紋接頭一起裝箱。 | |||
產品大圖
氣體編碼
* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。
* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。
* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。
* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。
* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。
