中圖儀器SJ6000激光切割機精度激光干涉校準儀采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術、多參數環(huán)境補償技術、高速數字信號處理系統等技術，通過與不同的光學鏡組結合，實現對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。SJ6000激光干涉儀線性測長精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm，在數控機床、激光切割機等行業(yè)廣泛應用。
激光切割機精度校準
在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
產品功能
（1）可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；
（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。
測量軟件
（1）友好的人機界面；
（2）豐富的應用功能模塊；
（3）向導式的操作流程；
（4）簡潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業(yè)專屬模板定制。
EC20環(huán)境補償單元
SJ6000激光切割機精度激光干涉校準儀配備的EC20環(huán)境補償單元，由環(huán)境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。
EC20環(huán)境補償單元在出廠前，會依照相關計量標準對各環(huán)境參量進行精確校準，通常情況下建議24個月校準一次。在使用EC20環(huán)境補償單元過程中，在不影響測量光路和被測物體運動的前提下，建議將環(huán)境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。至于材料溫度探頭該如何布置或應用，則需分不同的測量場合與不同的被測對象。
部分技術指標
主機
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預熱時間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)
角度測量范圍：±10°
平面度測量范圍：±1.5mm
直線度測量范圍：±3mm
垂直度測量范圍：±3/M mm/m
便攜箱尺寸：613*460*230mm
標準配置重量：18kg
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