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VeecoD3100DimensionHead(AFMScanner)VeecoD3100掃描頭(AFMScanner)掃描范圍：90um*90umDimension3100SPM使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術

Dimension 掃描頭產品詳情

Veeco D3100 Dimension Head ( AFM Scanner )

Veeco D3100 掃描頭 ( AFM Scanner )

掃描范圍：90um*90um

Dimension 3100 SPM使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術，可用來測量直徑可達200毫米的半導體硅片、刻蝕掩膜、磁介質、CD/DVD、生物材料、光學材料和其它樣品的表面特性。它的激光點定位系統和無需工具改變掃描技術的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數據處理能力。

儀器名稱：

Dimension3100原子力顯微鏡

型號：

Dimension 3100

生產廠家：

Veeco

主要配置：

– Dimension 3100 掃描頭和Nanoscope IIId控制器
– 樣品尺寸可達到8英寸晶圓，測量區域可達到6英寸范圍。
– 全面的表面局域電學測量模塊(SCM/CAFM/SSRM，與Multimode共用)

性能指標：

同主要用途

主要用途：

– 表面形貌、成分分辨
    ?   具備接觸、輕敲等多種模式成形貌像，XY分辨率0.25nm，Z噪聲<0.05nm
    ?   摩擦力圖像、定量相位圖像
– 表面局域電場力、磁場力和表面電勢：
?   電場力、磁場力圖像
   ?   表面電勢可分辨表面兩點電勢差值，分辨率10mV
– 載流子濃度、氧化層缺陷、局域導電性
    ?   掃描電容模塊(SCM)可測量dc/dV曲線，表征表面局域載流子濃度、氧化層缺陷等
    ?   導電原子力(CAFM) 可測量I/V曲線，表征表面局域導電性。偏壓范圍1mV-12V，電流范圍10nA-1uA
    ?   掃描擴展電阻(SSRM)可測量表面電阻分布，表征局域導電性和載流子濃度等。偏壓范圍1mV-12V，電流范圍10pA-1mA
– 納米加工
    ?    可編程控制針尖動作和測量過程，對表面進行納米操縱、刻蝕等

關鍵詞：顯微鏡

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