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BROOKS 5850EMH

BROOKS 5850EMH 產品詳情

5850EMH系列高溫質量流量控制計

頁面副小標題 - 已被驗證的長期穩定性，高溫應用中超高純表現

型號 5850EMH / 5851EMH

來自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

特點

高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）
高純度 VAR 316L 不銹鋼
無磨粒
氦泄漏檢查端口
常閉閥（可選常開閥）
電致動閥復位
低命令流量斷流
TTL 兼容"關閥"功能

優勢

穩定、可靠的產品平臺
高流量，高達 100 lpm（N2 當量）
全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應用

光纖制造——MCVD，OVD，AVD
水汽流量控制

關鍵詞：質量流量控制器傳感器

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