AALBORG數(shù)字質(zhì)量流量控制器DFC
AALBORG數(shù)字質(zhì)量流量控制器DFC，產(chǎn)品概要
具有數(shù)字信號(hào)處理功能的 DFC 可編程熱質(zhì)量流量控制器
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
數(shù)字和模擬模式操作
可編程流量配置
可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 100 slpm
大壓力 1000 psig (70 bar)
多達(dá) 256 個(gè)單元的多點(diǎn)能力
存儲(chǔ)多達(dá) 10 種氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)
累加器顯示總氣體量
高低氣體流量報(bào)警限值
高達(dá) 256 種氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)
自動(dòng)調(diào)整功能以獲得佳控制響應(yīng)
自我診斷測(cè)試
DFC 數(shù)字質(zhì)量流量控制器
微處理器驅(qū)動(dòng)的數(shù)字流量控制器允許使用計(jì)算機(jī)通過(guò) RS-485 接口（可選 RS-232）對(duì)各種氣體的流量進(jìn)行編程、記錄和分析。
控制器可針對(duì)各種控制功能進(jìn)行編程，包括流量設(shè)定點(diǎn)、累加器、停止累加器、讀取累加器、預(yù)設(shè)流量累加器、在預(yù)設(shè)總量處停止、自動(dòng)歸零等。
操作原理
計(jì)量氣體分為兩條層流路徑，一條通過(guò)主流管道，另一條通過(guò)毛細(xì)管傳感器管。兩個(gè)流道都設(shè)計(jì)為確保層流，因此它們的流速比是恒定的。傳感器管上的兩個(gè)精密溫度傳感繞組被加熱，當(dāng)流動(dòng)發(fā)生時(shí)，氣體將熱量從上游帶到下游繞組。產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。
惠斯通電橋設(shè)計(jì)用于監(jiān)測(cè)傳感器繞組上與溫度相關(guān)的電阻梯度，該電阻梯度與瞬時(shí)流量成線性比例。惠斯通電橋的輸出通過(guò) 12 位 ADC（模數(shù)轉(zhuǎn)換器）轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式。
板載微處理器和非易失性存儲(chǔ)器存儲(chǔ)所有校準(zhǔn)因子并直接控制比例電磁閥。數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)不斷地將質(zhì)量流量輸出與選定的流量進(jìn)行比較。與設(shè)定點(diǎn)的偏差通過(guò)補(bǔ)償閥門(mén)調(diào)整進(jìn)行校正，使用 PID 算法，從而以高精度保持所需的流量參數(shù)。生成 0 至 5Vdc 或 4 至 20mA 的輸出信號(hào)，指示計(jì)量氣體的基于質(zhì)量分子的流速。
接口
數(shù)字接口通過(guò) RS485（可選 RS232）運(yùn)行，并提供對(duì)適用內(nèi)部數(shù)據(jù)的訪問(wèn)，包括流量設(shè)定點(diǎn)、實(shí)際流量、零位調(diào)整和線性表調(diào)整。
模擬接口提供 0 至 5Vdc、0 至 10Vdc 和 4 至 20 mA 輸入和輸出。
自動(dòng)歸零
當(dāng)流量設(shè)定點(diǎn)低于滿量程的 2% 時(shí)，DFC 會(huì)自動(dòng)將傳感器零偏移歸零。為了適應(yīng)這一特點(diǎn)，控制閥必須在這種情況下關(guān)閉。規(guī)定通過(guò)數(shù)字命令禁用、強(qiáng)制或存儲(chǔ)當(dāng)前的自動(dòng)歸零。
Totalizer
DFC 的固件提供了注冊(cè)總氣體量的功能。氣體的總質(zhì)量通過(guò)對(duì)時(shí)間的實(shí)際氣體流量進(jìn)行積分來(lái)計(jì)算。
提供數(shù)字接口命令以：
將累加器設(shè)置為零
開(kāi)始/停止累計(jì)流量
閱讀累加器
以預(yù)設(shè)流量啟動(dòng)累加器
在預(yù)設(shè)總量處停止流動(dòng)
多氣體校準(zhǔn)
DFC 能夠存儲(chǔ)多達(dá) 10 種氣體的主要校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。此功能允許針對(duì)多種氣體校準(zhǔn)相同的 DFC，同時(shí)保持每種氣體的額定精度。
轉(zhuǎn)換因子
多達(dá) 256 種氣體的轉(zhuǎn)換因子存儲(chǔ)在 DFC 中。轉(zhuǎn)換因子可以通過(guò)數(shù)字接口命令應(yīng)用于十種氣體校準(zhǔn)中的任何一種。
流量警報(bào)
氣體流量警報(bào)上限和下限使用數(shù)字接口進(jìn)行編程。報(bào)警條件通過(guò)數(shù)字接口報(bào)告或激活觸點(diǎn)閉合輸出。
可編程流程
Aalborg 軟件支持可編程流程模式，允許執(zhí)行多達(dá)十個(gè)步驟的自定義編程。各種流量配置包括斜坡、線性增加和減少模式。
自動(dòng)調(diào)諧
AUTO TUNE 功能允許 DFC 在實(shí)際過(guò)程條件下自動(dòng)優(yōu)化氣體的控制響應(yīng)。在 AUTO TUNE 過(guò)程中，儀器調(diào)整 PID 增益以獲得佳階躍響應(yīng)并確定關(guān)鍵控制閥特性（僅適用于大流量小于 80 L/min 的設(shè)備）。
聯(lián)系關(guān)閉
提供兩組干接點(diǎn)繼電器輸出來(lái)驅(qū)動(dòng)用戶(hù)提供的設(shè)備。這些可通過(guò)數(shù)字接口進(jìn)行編程，以便在發(fā)生事件時(shí)（例如，當(dāng)超出低流量或高流量警報(bào)限制或當(dāng)累加器達(dá)到值時(shí)）切換繼電器。
閥門(mén)超控
裝置通過(guò)模擬或數(shù)字接口強(qiáng)制控制閥打開(kāi)（吹掃）或關(guān)閉。
自診斷
每當(dāng)次通電時(shí)，DFC 都會(huì)運(yùn)行一系列自診斷測(cè)試，以確保其處于佳工作狀態(tài)。
工程單位
流量設(shè)定點(diǎn)、測(cè)量的氣體流量和相關(guān)的累加器數(shù)據(jù)通過(guò)數(shù)字接口命令直接以工程單位換算。
支持以下測(cè)量單位：FS、mL/min、mL/hr、scfm、scfh、sL/min、sL/hr、lbs/hr、lbs/min 和一種用戶(hù)定義的測(cè)量單位。
泄漏完整性
1 x 10 -9 smL/sec 大氦氣到外部環(huán)境。
平衡電源
DFC 在±15Vdc 下運(yùn)行。正負(fù)電源的電流要求是平衡的，以使電源公共連接中的電流小化。±15Vdc 時(shí)的大功耗為 13.5 瓦。
