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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸鏈精密測(cè)量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

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中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，擁有一支集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，研發(fā)出了基礎(chǔ)計(jì)量儀器、常規(guī)尺寸光學(xué)測(cè)量儀器、微觀尺寸光學(xué)測(cè)量儀器、大尺寸光學(xué)測(cè)量儀器、常規(guī)尺寸接觸式測(cè)量儀器、微觀尺寸接觸式測(cè)量儀器、行業(yè)應(yīng)用檢測(cè)設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備，能為客戶提供從納米到百米的精密測(cè)量解決方案。

中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及全國三十多個(gè)省、市、自治區(qū)，產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐、美、東南亞等海外市場(chǎng)，堅(jiān)持為客戶提供高質(zhì)量產(chǎn)品和服務(wù)。

中圖儀器還將繼續(xù)專注于精密測(cè)量檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新，為中國制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量！

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	否

SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度測(cè)量儀以白光干涉技術(shù)為原理，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

白光干涉非接觸式粗糙度測(cè)量儀產(chǎn)品詳情

中圖儀器SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度測(cè)量儀以白光干涉技術(shù)為原理，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）

白光干涉非接觸式粗糙度測(cè)量儀

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度測(cè)量儀非接觸式高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件：

【測(cè)量小尺寸樣品時(shí)】可以測(cè)到12mm，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，可測(cè)非常微小尺寸的器件；

【測(cè)量大尺寸樣品時(shí)】支持拼接功能，將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致；

白光干涉非接觸式粗糙度測(cè)量儀

SuperViewW白光干涉儀具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

性能特色

1、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測(cè)量重復(fù)性；

2、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能

具備的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測(cè)、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施

在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，最大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例：

白光干涉非接觸式粗糙度測(cè)量儀

粗糙度測(cè)量案例

粗糙度測(cè)量.jpg

硅晶圓粗糙度測(cè)量.jpg

硅晶圓粗糙度測(cè)量

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測(cè).jpg

晶圓IC減薄后的粗糙度檢測(cè)

藍(lán)寶石粗糙度測(cè)量.jpg

藍(lán)寶石粗糙度測(cè)量

部分技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)		W1
光源		白光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024
干涉物鏡		標(biāo)配:10× 選配:2.5×、5×、20×、50×、100×
光學(xué)ZOOM		標(biāo)配:0.5× 選配:0.375×、0.75×、1×
標(biāo)準(zhǔn)視場(chǎng)		0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學(xué)ZOOM 0.5×）
XY位移平臺(tái)	尺寸	320×200㎜
	移動(dòng)范圍	140×100㎜
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動(dòng)
Z軸聚焦	行程	100㎜
	控制方式	電動(dòng)
臺(tái)階測(cè)量
可測(cè)樣品反射率		0.05%~100
主機(jī)尺寸		700×606×920㎜

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) 測(cè)量儀傳感器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
精密粗糙度輪廓度儀器	￥536000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2025-08-06	在線詢價(jià)
粗糙度波紋度儀	面議	武漢市	武漢庫爾特科技有限公司	2025-03-10	在線詢價(jià)
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