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    • P-300B 原子層沉積系統

    P-300B P-300B 原子層沉積系統

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 型號P-300B
    • 品牌
    • 所在地上海
    • 更新時間2024-01-17
    • 廠商性質其他
    • 所在地區上海
    • 實名認證已認證
    • 產品數量167
    • 人氣值1567
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    P-300B 原子層沉積系統 產品詳情

    襯底尺寸和類型

    200mm 晶圓 25片/批次(標準間距)

    150mm 晶圓 50片/批次(標準間距)

    100mm 晶圓 75片/批次(標準間距)

    非標準晶圓類基底(使用定制夾具)

    高深寬比基底(深寬比 1 : 2500)


    工藝溫度

    50°C – 500°C


    標準工藝

    批量生產的平均工藝時間小于 10 秒/循環*

    Al2O3,SiO2,Ta2O5,HfO2,ZnO,TiO2,ZrO2,AlN,TiN 及各種金屬

    同一批次薄膜不均勻性 < 1% 1σ,(Al2O3,WIW,WTW,B2B,49pts,5mm EE)**


    基片加載

    氣動升降

    手動裝載

    線性半自動裝載


    前驅體

    液態,固態,氣態,臭氧源

    源瓶余量傳感器,提供清洗和裝源服務

    4 根獨立的源管線,最多加載 8 個前驅體源

    關鍵詞:標準 傳感器
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