主要應用:
◆ 微型機械制造、超精密加工
◆ 集成電路制造、生物工程
◆ 醫療科學
◆ 光學微處理系統,光纖對接
◆ 航空航天領域
◆ 掃描探針顯微鏡
壓電陶瓷的特點:
n 容性負載,驅動電壓在0到150V
n 工作溫度在-20℃~120℃,
n 輸出位移小,輸出力大
n 響應速度右在微秒級
n 驅動要求直流穩壓電源
n 根據驅動的方式不同可輸出直線位移,也可以作為震蕩源使用
主要應用:
n 微型機械制造、超精密加工
n 集成電路制造、生物工程
n 醫療科學
n 光學微處理系統,光纖對接
n 航空航天領域
n 掃描探針顯微鏡
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