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產品用途及原理
HMDS預處理系統(電腦式HMDS真空充氮烘箱)主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預處理，增黏劑HMDS涂覆作業。本設備適用于在涂膠前對晶片進行預處理，集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統組成。通過多次預抽真空，充氮加熱循環進行，既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質的擴散，并且可以通過加液系統在硅片表面開成HDMS保護膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復性好，節省藥液，環保，對人體無害的顯著優點;也可用于晶片其它工藝的清洗。
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 復層恒溫恒濕試驗箱智能變頻節能 | ￥51200 | 東莞市 | 廣東皓天檢測儀器有限公司 | 2025-08-02 | 在線詢價 |
| 恒溫恒濕試驗箱/培養箱 | 面議 | 常州市 | 常州益豐儀器有限公司 | 2025-06-17 | 在線詢價 |
| 三層式恒溫恒濕試驗箱 | 面議 | 武漢市 | 湖北高天試驗設備有限公司 | 2025-06-17 | 在線詢價 |
| 武漢不銹鋼恒溫恒濕試驗箱 | ￥9800 | 武漢市 | 湖北高天試驗設備有限公司 | 2025-07-29 | 在線詢價 |
| GB 2423、GB5170恒溫恒濕試驗箱 | 面議 | 深圳市 | 深圳市德邁盛測控設備有限公司 | 2025-07-15 | 在線詢價 |
| 不銹鋼型恒溫恒濕試驗箱 | 面議 | 東莞市 | 廣東科寶試驗設備有限公司 | 2025-08-04 | 在線詢價 |
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