產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數控制，如體積流量、質量流量和壓力
● 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板
● 可選高精度：優于0.5%
● 可測范圍廣，0.01~99%滿量程
● 響應時間快，優于100 ms
● 內置98種氣體
● 可現場編輯混合氣體（最多5種成分），并最多存儲20種混合氣
精度升級
量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）
質量流量高精度 ± 0.5% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.01%滿量程/ ℃溫差
± 0.01%滿量程/ Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01%讀數/ ℃溫差
± 0.1 %讀數/ Atm壓力差
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM（）
測量和控制范圍 0.01～99%
顯示流量 128 %滿量程
可控流量 102.4 %滿量程
顯 示 屏 按鍵操作，標準為LCD黑白顯示屏（帶背光），可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）見上段精度升級部分
±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%讀數的額外誤差
重 復 性 ± 0.2 %滿量程
零點漂移&滿量程漂移 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm
響應時間 100 ms（可調）
預熱時間 ＜1s
標定工況 25 ℃&1Atm（其它標況可調）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項至100℃）
溫度精度 ± 0.75℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 1 MPaG（可選2MPaG高壓選項）
操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ±0.5%讀數（讀數＞1Atm），或±0.07PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40Hz@19200波特率；
模擬信號：1000Hz
屏幕刷新頻率 10Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差
供電電壓 7-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15-30 VDC ）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢），額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁、黃銅、430FR不銹鋼、硅、玻璃
過程連接 標準為NPT內螺紋，詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
