MALCOM靜止型回流爐裝置RDT-250EC特點： |
節(jié)省空間的獨立式高性能回流爐 |
通過采用矩陣加熱器，可以針對每個區(qū)域調節(jié)加熱強度 憑借較高的Δt 性能，該單元可以實現各種輪廓 |
使用觸摸面板控制器時，只能從主機上進行操作 |
通過查看加熱器配置，功耗已降低了約 50％ |
支持溫度 400℃ |
MALCOM靜止型回流爐裝置RDT-250EC規(guī)格參數： |
対象基板尺寸 | 250W×330L㎜以下 高さ 保持面上下共15mm以下 |
裝置尺寸 | 773W×863D×1417H mm |
加熱方式 | 上面 ：熱風、遠紅外線輻射并用 下面：遠紅外線輻射(選項) |
冷卻方式 | 外部氣體（氮氣或空氣）通過導入（排氣口連動） 附帶冷卻用流量調整閥門 |
電源 | 3相 200V 50/60Hz 10kVA |
外部氣體 | 0.3～0.5MPa 100L/min（MAX） |
爐內氧濃度 （氮氣使用時） | 100ppm |
基板托盤 | |
上面加熱 | 熱風、遠紅外線加熱器：7.2kW(約240W×30格) ※可對基準模組進行偏差設定 |
下面加熱(選項) | |
溫度精度 | 常溫～80℃ ：±3℃ 80℃～400℃：±2℃ |
測定溫度 | 常溫～400℃ |
測定點數 | 6點 |
窒素供給機能 | 流量調整閥門：100?/min |
制御用専用ソフト | 対応OS：Windows 8.1/10 |
裝置重量 | 約140㎏ |
