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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

濟(jì)南魯熱儀器是由多位具備實(shí)驗(yàn)儀器行業(yè)十多年工作經(jīng)驗(yàn)的行業(yè)精英組建而成，公司致力于實(shí)驗(yàn)儀器的研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售、售后一體化服務(wù)。公司專注于電加熱類儀器設(shè)備的研發(fā)設(shè)計(jì)，包含馬弗爐、箱式爐、高溫馬弗爐、陶瓷纖維馬弗爐、坩堝馬弗爐、真空氣氛箱式爐、真空氣氛管式爐、CVD設(shè)備、PECVD設(shè)備、升降式馬弗爐、電熱板、COD恒溫加熱器、消解儀等儀器設(shè)備。公司銷售分析類儀器，包含全自動(dòng)凱氏定氮儀、脂肪測(cè)定儀、配套消解儀等公司承攬非標(biāo)產(chǎn)品定制服務(wù)、產(chǎn)品升級(jí)改造、產(chǎn)品委托維修保養(yǎng)等服務(wù)。公司產(chǎn)品涵蓋電加熱類儀器、分析類儀器、樣品前處理類儀器。公司秉承“扎根齊魯、”的企業(yè)理念，專注產(chǎn)品質(zhì)量、真誠(chéng)服務(wù)客戶！

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

CVD系統(tǒng)應(yīng)用：CVD是化學(xué)氣相沉積的英文簡(jiǎn)寫，本公司生產(chǎn)的CVD系統(tǒng)是利用管式爐加熱，把構(gòu)成固態(tài)沉積物的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入爐管內(nèi)，在爐管內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。CVD系統(tǒng)分類：CVD技術(shù)常常通過反應(yīng)類型或者壓力來分類，包括低壓CVD(LPCVD)，常壓CVD(APCVD)，亞常壓CVD(SACVD)，超高真空C......

立式CVD系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品名稱：立式CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)： CVD-V12DZVK 單溫區(qū)立式CVD系統(tǒng)
      CVD-V12DZDVK 雙溫區(qū)立式CVD系統(tǒng)
      CVD-V12DZTVK 三溫區(qū)立式CVD系統(tǒng)
      CVD-V15DZVK 單溫區(qū)立式CVD系統(tǒng)
      CVD-V15DZDVK 雙溫區(qū)立式CVD系統(tǒng)
      CVD-V15DZTVK 三溫區(qū)立式CVD系統(tǒng)
      CVD-V17DZVK 單溫區(qū)立式CVD系統(tǒng)

CVD系統(tǒng)應(yīng)用：

CVD是化學(xué)氣相沉積的英文簡(jiǎn)寫，本公司生產(chǎn)的CVD系統(tǒng)是利用管式爐加熱，把構(gòu)成固態(tài)沉積物的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入爐管內(nèi)，在爐管內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。

CVD系統(tǒng)分類：

CVD技術(shù)常常通過反應(yīng)類型或者壓力來分類，包括低壓CVD(LPCVD)，常壓CVD(APCVD)，亞常壓CVD(SACVD)，超高真空CVD(UHCVD)，等離子體增強(qiáng)CVD(PECVD)，高密度等離子體CVD(HDPCVD)以及快熱CVD(RTCVD)。然后，還有金屬有機(jī)物CVD(MOCVD)，根據(jù)金屬源的自特性來保證它的分類，這些金屬的典型狀態(tài)是液態(tài)，在導(dǎo)入容器之前必須先將它氣化。

CVD系統(tǒng)組成：

CVD系統(tǒng)=管式爐+真空抽氣系統(tǒng)+多路供氣系統(tǒng)（或者液態(tài)蒸發(fā)系統(tǒng)）

立式CVD系統(tǒng)配置選擇：

配置一：立式管式真空氣氛爐：

VSK2-12DZ 單溫區(qū)立式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：50、60、80、100mm

VSK2-12DZD 雙溫區(qū)立式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：60、80、100mm

VSK2-12DZT 三溫區(qū)立式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：60、80、100mm

VSK2-15DZ 單溫區(qū)立式管式真空氣氛爐，1500℃，管徑：60、80mm

VSK2-15DZD 雙溫區(qū)立式管式真空氣氛爐，1500℃，管徑：60、80mm

VSK2-15DZT 三溫區(qū)立式管式真空氣氛爐，1500℃，管徑：60、80mm

VSK2-17DZ 單溫區(qū)立式管式真空氣氛爐，1700℃，管徑：60、80、100mm

配置二：真空抽氣系統(tǒng)：
可以選配：LVSE-0.1；LVSE-0.1A；HVSE
LVSE-0.1低真空控制系統(tǒng)
產(chǎn)品應(yīng)用：

該系統(tǒng)為一組低真空機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空度小于1Pa一下；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用

設(shè)備組成：設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計(jì)、真空波紋管、支架、真空泵組成

技術(shù)參數(shù)：

1、真空泵：FX-16

2、真空泵抽氣速度：16m3/h（4L/s）

3、真空泵極限壓強(qiáng)：（Pa）≤4*10^-2

4、高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥

5、真空波紋管：KF25*1000mm

6、真空計(jì)VRD-I:規(guī)管型號(hào)ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)

7、電源功率：220v/50Hz；0.8kw

8、出氣進(jìn)氣口規(guī)格：KF25

9、連接口：2個(gè)KF25接口

LVSE-0.1A可調(diào)低真空控制系統(tǒng)

產(chǎn)品應(yīng)用：
該系統(tǒng)為一組低真空恒壓機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空壓力恒定在1.0KPa—100.0KPa之間；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用

設(shè)備組成：設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計(jì)、真空波紋管、支架、真空泵、變速器、電動(dòng)調(diào)節(jié)閥門等組成；

技術(shù)參數(shù)：

1、真空泵：FX-16

2、真空泵抽氣速度：16m3/h（4L/s）

3、真空泵極限壓強(qiáng)：（Pa）≤4*10^-2

4、高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥

5、真空波紋管：KF25*1000mm

6、真空計(jì)：VRD-I:

7、規(guī)管型號(hào)ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)

8、電源功率：220v/50Hz；0.8kw

9、調(diào)速變頻器：0.75kw

10、壓強(qiáng)控制范圍：1.0KPa—100KPa

11、壓強(qiáng)控制精度：±1KPa

12、出氣進(jìn)氣口規(guī)格：KF25

13、連接口：2個(gè)KF25接口

HVSE高真空控制系統(tǒng):

產(chǎn)品應(yīng)用：
該系統(tǒng)為一組復(fù)合分子泵、前級(jí)抽氣泵機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空度小于8*10^-4Pa；配合真空管式爐、箱式真空氣氛爐等高真空設(shè)備使用；廣泛應(yīng)用于表面分析、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)研究

設(shè)備組成：設(shè)備由復(fù)合分子泵、前級(jí)抽氣泵、隔斷放氣閥、前級(jí)管路、分子泵電源、高真空檢測(cè)系統(tǒng)（復(fù)合真空計(jì)）、控制電源組成

產(chǎn)品特點(diǎn)：

預(yù)抽氣旁路設(shè)計(jì)，前級(jí)抽氣不經(jīng)過分子泵避免預(yù)抽氣體中顆粒進(jìn)入分子泵

技術(shù)參數(shù)：

1、前級(jí)真空泵：TRP-24

2、真空泵抽氣速度：4L/s

3、分子泵：FJ-620

4、抽氣速率：600L/s

5、分子泵極限壓強(qiáng)：6*10^-6Pa

6、建議啟動(dòng)壓強(qiáng)：＜100Pa

7、排氣口法蘭：KF40

8、進(jìn)氣口法蘭：DN160LF

9、波紋管：KF40*1000mm

10、復(fù)合真空計(jì)：ZDF-III

11、真空電磁擋板閥：KF40

12、真空腔體真空度：＜8*10^-4Pa

13、工作電壓：220v/50Hz

配置三：多路供氣系統(tǒng)：

ZDS-X多路質(zhì)子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)

系統(tǒng)應(yīng)用：
ZDS-X多路質(zhì)子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)

設(shè)備組成：多路進(jìn)氣管路、質(zhì)子流量計(jì)、混氣罐、出氣管路組成

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、幾路進(jìn)氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接

2、液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量，實(shí)時(shí)查看各路氣體流量曲線

3、每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術(shù)參數(shù)：

1、氣體通路：X條客戶自由定制

2、氣體類型：客戶自由選擇

3、流量計(jì)量程：5—500SCCM；1—10SLM自由選擇

4、工作電壓：220v/50Hz

5、工作壓差：0.1-0.5MPa

6、壓力：3MPa

7、準(zhǔn)確度：±1.0%F.S

8、質(zhì)子流量計(jì)相應(yīng)時(shí)間：＜1S

9、測(cè)量范圍：0.1-0.15MPa

10、混氣罐：304不銹鋼

11、進(jìn)出氣接口：直徑6mm不銹鋼卡套接口

12、管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管；外部管采用6mm聚四氟管

13、控制系統(tǒng)：PLC控制系統(tǒng)，液晶觸摸屏輸入，每路氣路獨(dú)立控制

FDS-X多路浮子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)

系統(tǒng)應(yīng)用：
FDS-X多路浮子流量計(jì)控制供氣系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)

設(shè)備組成：多路進(jìn)氣管路、浮子流量計(jì)、混氣罐、出氣管路組成

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、幾路進(jìn)氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接

2、手動(dòng)調(diào)節(jié)浮子流量計(jì)，方便快接

3、每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術(shù)參數(shù)：

1、氣體通路：X條客戶自由定制

2、氣體類型：客戶自由選擇

3、流量計(jì)量程：10-100ml/min；25-250ml/min；50-500ml/min自由選擇

4、壓力表：-0.1MPa---0.15MPa，0.01MPa/格

5、混氣罐：304不銹鋼

6、進(jìn)出氣接口：直徑6mm

7、管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 真空泵調(diào)節(jié)閥流量計(jì) 標(biāo)準(zhǔn)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
箱式電阻爐	面議	常州市	常州益豐儀器有限公司	2025-06-11	在線詢價(jià)
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