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    • 原子層沉積系統手套箱集成系列 放心選購 技術成熟 資質齊

    原子層沉積系統手套箱集成系列 放心選購 技術成熟 資質齊

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    北京正通遠恒科技有限公司成立于2001年,是一家經營歐美等國*科學測試儀器和設備,并將技術引入國內的科技服務型企業。目前,公司在北京、上海、廣州、深圳、合肥、蘇州均設有辦事處。


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    設備規格工藝溫度:溫度范圍:RT~500°C(可定制)前驅體路數:支持6路前驅體氣路(可定制)
    原子層沉積系統手套箱集成系列 放心選購 技術成熟 資質齊 產品詳情

    設備規格
    工藝溫度:溫度范圍:RT~500°C (可定制)
    前驅體路數:支持6路前驅體氣路(可定制),包含固、液態前驅體源瓶
    加熱系統:可加熱溫度范圍:RT~150℃
    反應物路數:支持2路反應物氣路(可定制)
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    本底真空度 lt;5x10-3 Torr
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    市場與應用
    廣泛應用于納米材料、太陽能電池、催化、鋰電池、光學鍍膜、生物醫療、OLED等方面,可制備出高均勻性、高精度、高保形的納米級薄膜。

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