型號描述
質(zhì)量流量測量儀用于在工藝技術(shù)領(lǐng)域直接測量氣體通過量。在體積流量測量儀中，還需要測量溫度和壓力或密度，因為氣體的密度或體積會因壓力的不同而發(fā)生變化。與之相反，質(zhì)量流量的測量并不取決于壓力和溫度。8703 型數(shù)字式質(zhì)量流量測量儀具有一個以硅芯片為基礎(chǔ)的傳感器（參見第 2 頁的描述），該傳感器直接在氣體流中進行測量。通過這種方式可以達(dá)到非常短的設(shè)備反應(yīng)時間。當(dāng)前流量將通過 RS 通訊輸出。可針對兩種不同的氣體對型號 8703 進行校準(zhǔn)，用戶可在兩者之間進行轉(zhuǎn)換。根據(jù)用戶要求的不同，與介質(zhì)相接觸接頭的材料可確保裝置能配合所有常見工藝氣體運行。
1）采用半導(dǎo)體傳感器技術(shù)的直接流量測量裝置，適合額定流量范圍 20 mlN/min 至 80 lN/min (N2)
2）高精度
3）反應(yīng)快速
4）緊湊型結(jié)構(gòu)和數(shù)字通訊
Type Description
The mass flow meter (MFM) type 8703 is suited for measuring the mass flow of gases over a big flow range. The thermal MEMS sensor is located directly in the gas stream and therefore reaches very fast response times. Type 8703 can optionally be calibrated for two different gases; the user can switch between these two gases. The communication with master devices is fully digital, therefore no further analog/digital conversions are needed.
1）Nominal flow ranges from 0.010 lN/min to 80 lN/min
2）High accuracy
3）Very fast response times
4）Digital communication via RS485
5）Compact version
