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    • GSL-1100X-PJF-A 可自動掃描等離子表面處理儀

    GSL-1100X-PJF-A 可自動掃描等離子表面處理儀

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地
    • 更新時間2023-08-15
    • 廠商性質其他
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    GSL-1100X-PJF-A 可自動掃描等離子表面處理儀 產品詳情

    GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結合在一起的產品,有自動控制的樣品臺,就可使等離子槍按設定程序對樣品表面進行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的一致性和均勻性。此系統是由RF發生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統產生等離子束可在非真空和低溫狀態下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學元件和塑料等,也可在常壓下進行等離子增強氣相沉積。

    性能指標和基本配置
    主要參數

    ● 工作環境:溫度 < 42°C,濕度 ≤ 40℃RH
    ● 輸入電源:208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W
    ● 等離子體工作壓力

    RF發生器

    ● 輸出頻率:20-23kHz , 25KV
    ● 等離子槍頭:儀器中包括兩種等離子槍頭:圓形頭:10-12mm,矩形頭:15-18mm
    1 1

    輸入氣體氣壓,工作氣體

    ● 40 PSI min.(0.055 Mpa)
    ● Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

    樣品臺和控制柜

    ● 配有可在X-Y軸移動的樣品臺,通過步進電機驅動,采用SBC控制盒控制
    ● 可手動調節樣品臺在Z軸方向上的移動距離
    ● 控制盒采用LCD顯示,可設置其等離子槍頭的掃描程序。
    ● 掃描范圍:8" x 9"
    ● 一個直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺上,可吸住直徑為6"的樣品。
    ● 配有一真空泵,可與真空吸盤相連接
    ● 整個系統安裝在一移動架上(600x600x 800Lmm)
    ● 可選:可選加熱樣品臺(溫度可加熱到500℃),也可將設備放置在手套箱中操作。
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    外形尺寸

    處理樣品臺尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
    等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
    控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H

    凈重

    55kg

    文獻

    請點擊鏈接以了解更多關于AP-PECVD應用的信息:常壓等離子體增強化學氣相沉積(AP-PE-CVD)用于在低溫下生長薄膜。

    質量認證

    所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。
    1

    保修期 一年保修,終身技術支持。
    特別提示:
    1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
    點擊查看售后服務承諾書。
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