GSL-1100X-SPC16-3 3靶等離子濺射儀

電源電壓

220V , 50/60 Hz

輸出功率

• < 2000W (including pump)
• 離子電流表：電流：50mA 定時器：最長時間900s

輸出電壓(DC)

1600V

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

樣品載物臺

• 一個外徑50 mm 的樣品臺, 可以移動三個位置
• 濺射面積: 45 mm

配件

• 120 L/m的雙旋片式機械真空泵，進行抽真空
• 進氣口處安裝有儲氣球，防止泵油的回流，排氣口安裝有立式油污過濾器，可以過濾真空泵在工作時產生的油煙，減少泵油的損耗，和保護環境，和人體健康
• 不銹鋼波紋管與 KFD-25接口相連用
• 高純度金箔靶
• 系統需要一個帶壓力調節器的氬氣瓶，但我們不提供

可通入氣體

• 多種 氣壓：-1600（-3000）DCV
• 微型真空氣閥：可連接Φ3mm軟管

靶材

標配靶材:

• Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
• Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
• Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs

可選靶材

• Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
• Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
• Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea

設備特點

• 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監控儀器狀態；
• 濺射電流調整控制器、微型真空氣閥。在工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得鍍膜效果；
• 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現象；
• 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用；
• 根據電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

外形尺寸

400mm × 300mm × 400mm（L×W×H）

凈重

50 kg

質保期和質量認證

一年質保期，終身維護