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    • 光譜橢偏儀

    光譜橢偏儀

    參考價
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    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地
    • 更新時間2023-08-05
    • 廠商性質其他
    • 所在地區深圳市
    • 實名認證已認證
    • 產品數量87
    • 人氣值801
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    通過橢偏參數、透射/反射等參數測量,實現各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學常數快速表征
    光譜橢偏儀 產品詳情

    一、產品優勢


    ● 專業光譜橢偏解決方案


    ● 超高精度、快速無損測量


    ● 系列配置靈活,支持功能定制設計


    ● 豐富的材料數據庫與算法模型庫


    支持多功能靈活配置

    系列配置靈活,可根據不同應用場景支持多功能模塊定制化配置


    自動變角模塊


    自動找焦模塊


    Mapping測量模塊


    微光斑測量模塊


    二、應用案例


    三、系列產品


    四、技術規格



    型號

    SE-VM

    SE-L

    SE-Mapping

    SE-VE

    自動化程度

    自動變角

    固定角+mapping

    固定角

    應用定位

    通用型

    自動型

    檢測型

    經濟型

    基本功能

    Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜

    Psi/Delta、N/C/S、R等光譜

    分析光譜

    380-1000nm(支持擴展至210-1650nm)

    400-800nm

    單次測量時間

    0.5-5s

    重復性測量精度

    0.01nm

    0.05nm

    光斑大小

    大光斑2-4mm,微光斑200μm/100um

    大光斑2-4mm

    折射率重復性精度

    0.0005

    0.0001

    入射角范圍

    45-90°(5°步進)

    45-90°

    65°

    65°

    入射角調節方式

    手動變角

    自動變角

    固定角

    固定角

    找焦方式

    手動找焦

    自動找焦

    手動找焦

    手動找焦

    Mapping行程

    不支持

    100*100mm(可選配)

    300*300mm(可選配)

    不支持

    支持樣件尺寸

    至180mm

    至200mm

    至300mm

    至160mm

    ● 重復性精度指標針對100nmSiO2/Si標準樣件30次重復性測量;

    ● 有關Mapping型號命名與其行程尺寸有關,并支持尺寸定制;

    ● 儀器具體技術參數需與實際功能模塊、配件有關,表中數據僅供參考。




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