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    • VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀

    VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀

    參考價
    面議
    具體成交價以合同協議為準
    • 型號
    • 品牌
    • 所在地
    • 更新時間2023-07-31
    • 廠商性質其他
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    • 產品數量13
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    VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀,其靶頭尺寸為2英寸,并且樣品臺的高度可以調節
    VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀 產品詳情

    VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀,其靶頭尺寸為2英寸,并且樣品臺的高度可以調節。此款鍍膜儀設計主要是制作一些金屬薄膜。

    性能指標和基本配置
    特點

    ● 特別為SEM樣品鍍導電性薄膜設計
    ● 體積小巧,操作簡單,容易上手。
    ● 擁有小型磁控靶頭,可以鍍金銀鉑等金屬。

    主要參數

    ● 輸入電源:220V AC 50/60Hz
    ● 功率:200W
    ● 輸出電壓:500 VDC
    ● 濺射電流:0-50 mA可調
    ● 濺射時間:0-120S可調

    濺射腔體

    ● 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
    ● 密封:采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈

    濺射頭&樣品臺

    ● 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸,厚度0.1 - 2.5mm
    ● 濺射時間1-120S可調
    ● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺,其與濺射頭之間距離可調。
    ● 可選購加熱型樣品臺,其加熱溫度為500℃
    ● 安裝有一可手動操作的濺射擋板,可進行預濺射。
    1 1 1 1

    真空系統

    ● 安裝有KF25真空接口
    ● 數字真空壓力表(Pa)
    ● 此系統可通入氣體運行
    ● < 1.0E-2 Torr (采用機械泵)(僅供參考,詳情請點擊)
    ● < 1.0E-5 Torr(采用渦旋分子泵)(僅供參考,詳情請點擊)
    ● 可在本公司選購各種真空泵
    1

    進氣

    ● 設備上配1/4英寸進氣口,方便連接氣瓶
    ● 設備前面板上裝有一氣流調節旋鈕,方便調節氣流

    靶材

    ● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)
    ● 此設備標配為銅靶
    ● 可在本公司選購各種靶材

    各種靶材的參數(僅供參考) 對于濺射各種金屬靶材,需要摸索的濺射參數,下表是本公司實驗所設置的參數,歡迎您帶料來科晶實驗室摸索工藝(僅供參考,詳情請點擊)
    靶材種類 真空度(Pa) 濺射電流(mA) 時間(s) 濺射次數
    Au 31-33 28-30 100 1
    Ag 31 28 100 1
    薄膜測厚儀(可選)

    可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上
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    產品尺寸 L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
    1
    凈重 20 kg(不包括泵)
    使用注意事項

    ● 有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
    ● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
    ● 要達到薄膜與基底良好結合,請在濺射前清潔基材表面
    ● 超聲波清洗(詳細參數點擊下面圖片):(1)丙酮超聲,(2)異丙醇超聲-去除油脂,(3)吹氮氣干燥,(4)真空烘箱除去水分。
    ● 等離子清洗(詳細參數點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學鍵,可祛除額外的污染物。
    ● 制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應用于改善金屬和合金的附著力。
    ● 請使用>5N純度氬氣等離子體濺射
    ● 濺射鍍膜機可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射
    ● 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發鍍膜機。點擊下面圖片查看細節
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    超聲波清洗機 等離子清洗機 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀

    警告

    ● 注意:產品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。
    ● 氣瓶上應安裝減壓閥(不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
    ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶頭。

    認證

    1CE認證

    保修期 一年保修,終身技術支持。
    特別提示:
    1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內
    點擊查看售后服務承諾書。
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