一、概述
硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下，穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定，在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、設備組成
HCVD-1200S雙溫區管式爐，HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動)，質量流量計供氣系統，機械式真空泵等組成。
三、主要技術參數
硫粉預熱器 | 型號：HTF-400C 工作溫度：350℃ 溫度：400℃ 升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220 V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 |
雙溫區硫化爐 | 型號：HCVD-1200S 技術參數： 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz 溫度(℃):1200（1 hour） 持續工作溫度(℃）：1100 升溫速率（℃/min）：≤50 爐管尺寸（mm）： 高純石英管Φ50×1500mm 加熱區長度（mm）：440mm 恒溫區長度（mm）:200mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
供氣系統GMF3Z | 質量流量計 重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 標準量程（N2標定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據用戶要求定制） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數字顯示 工作環境溫度:5~45高純氣體 內外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 |
低真空機組VAU-02 | 技術參數： 空氣相對濕度≤85%， 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：4L/s 極限真空：4X10-2Pa 實驗真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 進氣口口徑：KF25 排氣口口徑：KF25 轉速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸:450×180×240mm |
配真空粉塵過濾器，DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力，INFICON PCG554復合真空計 |
