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    • PlasmaPro 100 ICPCVD

    PlasmaPro 100 ICPCVD

    參考價(jià)
    面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 型號(hào)
    • 品牌
    • 所在地上海
    • 更新時(shí)間2023-07-19
    • 廠商性質(zhì)其他
    • 所在地區(qū)上海
    • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
    • 產(chǎn)品數(shù)量228
    • 人氣值1568
    產(chǎn)品標(biāo)簽

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    牛津儀器科技(上海)有限公司隸屬于英國(guó)牛津儀器集團(tuán)。牛津儀器1959年創(chuàng)建于英國(guó)牛津,是英國(guó)倫敦證交所的上市公司,為工業(yè)和科研客戶提供分析設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備、超導(dǎo)磁體、超低溫設(shè)備等高科技解決方案及相關(guān)服務(wù)和支持。在六十年的發(fā)展過(guò)程中,牛津儀器公司憑借自身的科研優(yōu)勢(shì)、出色的技術(shù)管理和產(chǎn)品服務(wù)為科技發(fā)展作出了貢獻(xiàn)。目前牛津儀器現(xiàn)已成為科學(xué)儀器領(lǐng)域的跨國(guó)集團(tuán)公司,生產(chǎn)基地、銷(xiāo)售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)和客戶遍及一百多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。牛津儀器始終關(guān)注和支持著中國(guó)的發(fā)展,其產(chǎn)品于40年前就進(jìn)入了中國(guó)市場(chǎng),目前在上海設(shè)有銷(xiāo)售、研發(fā)和全國(guó)售后服務(wù)中心 ,在北京、廣州設(shè)有辦事處,旨在為廣大中國(guó)用戶提供及時(shí)、有效的服務(wù)。為了進(jìn)一步支持中國(guó)科研的發(fā)展,2013年牛津儀器設(shè)立了“馬丁·伍德爵士中國(guó)獎(jiǎng)”,迄今共十余位物理研究領(lǐng)域的年輕科學(xué)家獲獎(jiǎng)。牛津儀器先后在中國(guó)多所院校設(shè)立了“明日之星獎(jiǎng)學(xué)金”,以鼓勵(lì)在納米科學(xué)領(lǐng)域有創(chuàng)新科研成果的優(yōu)秀碩士或博士生。
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    This ICPCVD process module is designed to produce high quality films at low growth temperatures, enabled through high-density remote plasmas that achieves superior film quality with low substrate dama......
    PlasmaPro 100 ICPCVD 產(chǎn)品詳情
    • 在低溫度下沉積低損傷的薄膜
    • 可沉積的典型材料包括: SiO2、Si3N4 、 SiON、Si 和 SiC,襯底溫度可低至5ºC 
    • 65mm、180mm、300mm 尺寸的ICP源 提供了工藝的均勻性
    • 晶圓尺寸高至200mm
    • 電極的溫度范圍為5ºC至400ºC
    • 已獲得ICPCVD氣體配送技術(shù)
    • 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗工藝, 并且可自動(dòng)停止工藝
    SiO2

    SiO2 deposited using TEOS and O2 by ICP CVD in ~50μm deep trench 4:1 aspect ratio

    SiNx

    SiNx deposited by ICP CVD at room temperature for 22nm T-gate HEMT

    熱門(mén)產(chǎn)品
    產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
    R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng) 面議 上海 上海德竹芯源科技有限公司 2024-08-11 在線詢價(jià)
    R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng) 面議 上海 上海德竹芯源科技有限公司 2024-08-11 在線詢價(jià)
    P-300B 原子層沉積系統(tǒng) 面議 上海 上海德竹芯源科技有限公司 2024-08-11 在線詢價(jià)
    等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng) 面議 上海 上海德竹芯源科技有限公司 2024-08-10 在線詢價(jià)
    芬蘭Picosun原子層沉積系統(tǒng) 面議 廣州市 廣州納儀科技有限公司 2024-05-12 在線詢價(jià)
    等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng) 面議 上海 上海德竹芯源科技有限公司 2024-01-19 在線詢價(jià)
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