三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。三坐標測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。
三坐標測量儀基本構成：
1、 X向橫梁：采用精密斜梁技術。
2、Y向導軌：采用的直接加工在工作臺上的整體下燕尾槽定位結構。
3、導軌方式：采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的四面環抱式靜壓氣浮導軌。
4、驅動系統：采用本產高性能DC直流伺服電機、柔性同步齒形帶傳動裝置，各軸均有限位和電子控制，傳動更快捷、運動性能更佳。
5、Z向主軸：可調節的氣動平衡裝置，提高了Z軸的定位精度。
6、控制系統：采用進口的雙計算機三座標控制系統。
7、機器系統：采用計算機3D誤差修正技術（CAA），保證系統的長期的穩定性和高精度。
8、測量軟件：采用功能強大的3D-DMIS測量軟件包，具有完善的測量功能和聯機功能。
單支柱測量臺移動型三坐標測量儀介紹：
單支柱測量臺移動型，軸為主軸在垂直方向移動，支柱上附有軸導槽，支柱被固定在測量儀本體上。測量時，測量臺在水平面上沿著軸和軸方向作移動。
移動橋架型三坐標測量儀介紹：
移動橋架型，為常用的三坐標測量儀的結構，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿水平梁在方向移動，此水平梁垂直軸且被兩支柱支撐于兩端，梁與支柱形成“橋架”，橋架沿著兩個在水平面上垂直和軸的導槽在軸方向移動。因為梁的兩端被支柱支撐，所以可得到小的撓度，且比懸臂型有較高的精度。
軸移動懸臂型三坐標測量儀介紹：
軸移動懸臂型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿著垂直軸的水平懸臂梁在軸方向移動，懸臂梁沿著在水平面的導槽在軸方向移動，且垂直于軸和軸。此型為三邊開放，容易裝拆工件，且工件可以伸面即可容納較大工件，但因懸臂會造成精度不高。
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