該爐是一款能夠快速升溫和降溫的管式爐，其通過紅外燈管加熱達到快速升溫的效果（升溫速率> 50°C/S），通過爐體滑動來達到快速冷卻效果。
應用范圍：
退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐， 是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設備，它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計，采用紅外燈管加熱，升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 ±1°C°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。
技術參數：
| 爐體結構 | 雙層風冷 |
| 溫度控制 | PID30段程序化控制，并帶有過熱和斷偶保護 |
| 升溫速率 | 50℃/s |
| 溫度 | 1100℃；連續工作溫度：950℃（可達1小時）； |
| 熱電偶 | K型熱電偶測量樣品處溫度； |
| 管外徑 | 100 mm |
| 加熱區長 | 200mm |
| 加熱元件 | 紅外燈管 |
| 爐管材質 | 高純石英管 |
| 可快冷樣品 | 可強迫風冷；吹N2或壓縮空氣。 |
| 滑動范圍 | 可通過溫控儀表自動控制 ，當溫度程序運行完過后，爐體將按照設定速度從右端滑到左端 |
| 真空系統（選配） | 旋片泵、擴散泵機組、分子泵機組 |
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