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    • 射頻磁控濺射鍍膜裝置 DHRM1

    DHRM1 射頻磁控濺射鍍膜裝置 DHRM1

    參考價(jià)
    面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 型號(hào)DHRM1
    • 品牌
    • 所在地
    • 更新時(shí)間2025-02-27
    • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
    • 所在地區(qū)成都市
    • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
    • 產(chǎn)品數(shù)量2632
    • 人氣值11976
    產(chǎn)品標(biāo)簽

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             公司設(shè)有專業(yè)維修部,由**專業(yè)上等工程師主理產(chǎn)品售后服務(wù)(同時(shí)也對(duì)外承接維修業(yè)務(wù))。

     

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    DHRM1射頻磁控濺射鍍膜裝置主要由濺射鍍膜室、真空抽氣系統(tǒng)、氣源進(jìn)氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、襯底加熱溫度控制系統(tǒng)、射頻電源等部分組成。DHRM1磁控濺射鍍膜裝置具有沉積速率高,可以濺射任何材料,包括導(dǎo)體、半導(dǎo)體和介質(zhì)材料等特點(diǎn)。DHRM1磁控濺射鍍膜裝置由于在低氣壓下濺射,因此膜層致密、針孔少、純度高。DHRM1射頻磁控濺射鍍膜裝置.DHRM1射頻磁控濺射鍍膜裝置.DHRM1射頻磁控濺射鍍膜裝置
    射頻磁控濺射鍍膜裝置 DHRM1 產(chǎn)品詳情
    DHRM1射頻磁控濺射鍍膜裝置

    DHRM1射頻磁控濺射鍍膜裝置主要由濺射鍍膜室、真空抽氣系統(tǒng)、氣源進(jìn)氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、襯底加熱溫度控制系統(tǒng)、射頻電源等部分組成。由于磁控濺射能夠**地控制工藝參數(shù)和提高膜層附著力、密度及均勻性,已成為沉積薄膜的重要方法之一,射頻磁控濺射具有沉積速率高,可以濺射任何材料,包括導(dǎo)體、半導(dǎo)體和介質(zhì)材料等特點(diǎn)。由于在低氣壓下濺射,因此膜層致密、針孔少、純度高。

    可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)

    1、掌握射頻磁控濺射法制膜的基本原理;

    2、了解磁控濺射鍍膜儀的操作過程及使用范圍;

    3、磁控濺射法制備金屬膜、半導(dǎo)體膜、化合物膜、介質(zhì)膜等薄膜。

    主要技術(shù)參數(shù)

    1、濺射鍍膜室:由不銹鋼底與玻璃鐘罩組成;有效尺寸:Φ220×H230mm3;

    2、濺射鍍膜室本底真空:≤1Pa;濺射腔極限真空:6×10-1Pa;

    3、濺射靶:Φ50mm,濺射靶臺(tái)和濺射靶可調(diào)距離:20~60mm;

    4、基片加熱溫度可控范圍:室溫~300℃;

    5、射頻源功率:500W,13.56MHz;

    6、氣路系統(tǒng):由兩路轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制(可選配質(zhì)量流量計(jì));

    7、真空系統(tǒng):2XZ-4型旋片真空泵,抽氣速率:4L/S,單相220V交流電源供電;

    8、對(duì)過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警,并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施;

    9、供電電源:AC220V,50Hz,整機(jī)功率2KW。



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