住友的臭氧發生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友立式臭氧發生儀
住友立式臭氧發生儀應用:
1. 半導體器件
2. Si/復合晶圓
3. FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
4. 光罩
5. 發光二極管
住友立式臭氧發生儀具體規格
臭氧氣體流速 | 1L/min to 24L/min |
臭氧氣體供應壓力 | *大0.15MPa |
冷卻水溫度 | 20°C±2°C |
尺寸 | W483mm x D453mm x H266mm |
重量 | 30 to 45kg |
功率 | 200-220VAC, 3-phase |
優勢:
高濃度;高達400g/m3(N),不含氮摻雜
19英寸機架尺寸標準型號
豐富的產品線;小容量到大容量
高壓耐受,長壽命放電單元
快速啟動,快速響應
與臭氧監測儀(閉環控制)集成的穩定濃度
CE、NRTL、半標準適用
管道材料;從316LSS或P中選擇
