住友的臭氧發生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發生儀器
住友臭氧發生儀器應用:
1. 半導體器件
2. Si/復合晶圓
3. FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
4. 光罩
5. 發光二極管
具體規格
臭氧氣體流速 | 1L/min to 24L/min | |
臭氧氣體供應壓力 | *大0.2MPa | |
冷卻水溫度 |
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氮摻雜比 | 0.1%(volume)against oxygen | |
尺寸 | W483mm x D453mm x H266mm | |
重量 | 30 到 45kg | |
功率 | 200-220VAC, 3-phase |
特征:
高濃度;高達400g/m3(N)
19英寸機架尺寸標準型號
豐富的產品線;小容量到大容量
高壓耐受,長壽命放電單元
快速啟動,快速響應
與臭氧監測儀(閉環控制)集成的穩定濃度
CE、NRTL、半標準適用
管道材料;從316LSS或PFA中選擇