這款4英寸探針臺是專業為4英寸晶圓測試設計的通用手動探針臺,可滿足4英寸晶圓測試需要,測試溫度范圍室溫~300℃,可滿足高溫和低溫環境下晶圓溫度特性測試,RF測試等典型應用。
4英寸探針臺特點
滿足4''晶圓測試需要
測試溫度：室溫~300℃
可選擇芯片固定配件
可配備護罩，防止露水凝結
可配備護罩，提供較低噪音環境
使用空氣快速定位的測微計進行粗略移動和微調
壓盤的Z運動有粗運動和細運動，粗運動可以用杠桿操作可以用千分尺調整。
4英寸探針臺應用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測試：20KV DC/200A
RF測試
各種電阻測量，如sheet電阻測量
高溫和低溫環境下的溫度特性測試
可靠性測試，如TDDB
4英寸探針臺可選配件
Thermal chuck from室溫 ~+300°C
各種光源
三目顯微鏡（標配體視顯微鏡）
4英寸探針臺可以連接配合的測試儀器
設備分析儀/參數分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數字萬用表
阻抗分析儀
網絡分析器
4英寸探針臺規格參數
| 型號 | α100 |
| 晶圓卡片尺寸 | ~4英寸 |
| 位移臺行程（粗調） | X:100mm, Y:110mm |
| 位移臺行程（精調） | X：±6.5㎜ Y：±6.5㎜ |
| 位移臺Theta角范圍 | ±5° |
| Z軸位移臺行程 | 0-0.3-0.5mm |
| Z軸位移臺行程（精調） | 5mm |
| 尺寸 | W320×H355×D490㎜ |
| 重量 | 25Kg |
