這款光電測(cè)試探針臺(tái)是專業(yè)為8英寸和12英寸晶圓光電流測(cè)試設(shè)計(jì)的專業(yè)半自動(dòng)變溫光電探針臺(tái),可滿足8英寸和12英寸晶圓變溫光電測(cè)試需要,測(cè)試溫度范圍-60~350℃,特別適合高溫和低溫環(huán)境下晶圓變溫測(cè)試和射頻測(cè)試,可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)和自動(dòng)芯片對(duì)準(zhǔn)。
光電測(cè)試探針臺(tái)特點(diǎn)
可選擇6'',8''晶圓和12''晶圓配置
測(cè)試溫度：-60℃~350℃
適合高功率器件測(cè)試20kV DC/200A
可選擇芯片固定配件
可配備護(hù)罩，防止露水凝結(jié)
可配備屏蔽罩，提供較低噪音環(huán)境
配備專用測(cè)試軟件，提高晶圓測(cè)試效率
采用圖像識(shí)別技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)和自動(dòng)芯片對(duì)準(zhǔn)
光電測(cè)試探針臺(tái)應(yīng)用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測(cè)試：20KV DC/200A
RF射頻測(cè)試
高功率器件測(cè)試20kV DC/200A
各種電阻測(cè)量，如sheet電阻測(cè)量
高溫和低溫環(huán)境下的溫度特性測(cè)試
可靠性測(cè)試，如TDDB
光電測(cè)試探針臺(tái)可選配件
Thermal chuck from -60℃~+350°C
355nm~1064nm激光切割機(jī)
各種光源
三目顯微鏡（標(biāo)配體視顯微鏡）
CCD相機(jī)
Probe card (4.5 inch square PCB)
光電測(cè)試探針臺(tái)可連接配合的測(cè)試儀器
設(shè)備分析儀/參數(shù)分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數(shù)字萬(wàn)用表
阻抗分析儀
網(wǎng)絡(luò)分析器
光電測(cè)試探針臺(tái)規(guī)格參數(shù)
| 型號(hào) | AP-200 | AP-300 |
| 晶圓卡片尺寸 | ~8英寸 | ~12英寸 |
| XY位移臺(tái)行程（粗調(diào)） | X:200mm, Y:400mm | X:320mm, Y:500mm |
| XYZ位移臺(tái)控制精度 | 0.1μm | 0.1μm |
| XYZ位移臺(tái)重復(fù)定位精度 | ±2μm | ±3μm |
| XY位移臺(tái)精度 | ±5μm | ±10μm |
| XY位移臺(tái)移動(dòng)速度 | 30㎜/sec(Max) | 25㎜/sec(Max) |
| Z位移臺(tái)行程范圍 | 30mm | 80mm |
| Z位移臺(tái)移動(dòng)速度 | 25㎜/sec(Max) | 25㎜/sec(Max) |
| 位移臺(tái)θ范圍 | ±5deg | ±6deg |
| θ分辨率 | 0.001度 | 0.000022294deg |
| 尺寸 | W760×D1000×H1020㎜ | W880×D1260×H1030㎜ |
| 重量 | 400kg | 800kg |
