質量流量控制器 HORIBA SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z514MGX SEC-Z524MGXN

SEC-Z500X 質量流量控制器適用于各種應用以及半導體制造

• 高精度 ±1.0% 設定點
  該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現在所有流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數據由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統測量。
• 高速響應
  裝配“可變 PID 系統”，可在任意兩個設定點之間實現 1 秒響應。可變 PID 根據流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發生變化時優化 PID 系數。
• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速方便地更改規格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質量流量控制器，即可進行更改。減少了所需的備用質量流量控制器的數量，節省時間和成本。

HORIBA SEC-Z500X 質量流量控制器適具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現場更改氣體類型或滿量程流量。
該質量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 設定點）、壓電閥、高速響應和全金屬特性，可提高制程良率，簡化零件管理。支持數字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信模式。

• 高精度 ±1.0% 設定點
  該質量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現在所有流量控制范圍內的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數據由 HORIBA STEC 公司的標準氣體測量系統測量。
• 高速響應
  裝配“可變 PID 系統”，可在任意兩個設定點之間實現 1 秒響應。可變 PID 根據流量點設置不斷變化。在滿量程流量和氣體發生變化時優化 PID 系數。
• 多氣體/多量程解決方案
  配置軟件可以快速方便地更改規格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除質量流量控制器，即可進行更改。減少了所需的備用質量流量控制器的數量，節省時間和成本。

主要特性
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地氣體類型及更改滿量程流量, 現場設定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-99% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應：< 1秒 (全量程范圍內，任意設置點);
4) 非常方便的現場設置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以限度地減少庫存;
6) 與現有模擬式質量流量控制器兼容;
7) 模擬通信與數字通信(DeviceNet)可同時進行;

氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)；

SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)

滿量程流量

外形尺寸

型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。

可選低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

SEC-Z514MX、SEC-Z524MGM屬于SEC-500X系列，多種氣體及多種流量范圍數字式質量流量控制器